技术编号:3404590
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种成膜装置及成膜方法。背景技术 以往,如有机电致发光元件那样在一个基板上层叠多种的膜的成膜装置中,使用在一个移动室连接多个成膜室的成膜装置,在一个成膜室内成膜了1种膜的基板利用设置于移动室内的搬送机器人而暂时取出移动室,之后搬送到其他成膜室而成膜新的膜。然而,在以往的成膜装置中,一般而言,1台搬送机器人在移动室和多个成膜室之间进行基板的搬出搬入、因此同时以一个成膜装置制造多个基板时,有在基板的搬入、搬出上耗费时间的问题。若设置多个搬送机器人,虽...
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