专利名称：成膜装置、薄膜的制造装置及成膜方法
技术领域：
本发明提供一种成膜装置及成膜方法。
背景技术：
以往，如有机电致发光元件那样在一个基板上层叠多种的膜的成膜装置中，使用在一个移动室连接多个成膜室的成膜装置，在一个成膜室内成膜了1种膜的基板利用设置于移动室内的搬送机器人而暂时取出移动室，之后搬送到其他成膜室而成膜新的膜。
然而，在以往的成膜装置中，一般而言，1台搬送机器人在移动室和多个成膜室之间进行基板的搬出搬入、因此同时以一个成膜装置制造多个基板时，有在基板的搬入、搬出上耗费时间的问题。
若设置多个搬送机器人，虽可缩短花在基板搬入、搬出的时间，但是为了确保搬送机器人的设置场所，而必须使移动室大型化，而且搬送机器人的数量也会增加，相应地导致成膜装置价格高昂。
将多个成膜源并列为直线状、使多个基板依次通过各成膜源上而构成的串联型的成膜装置，由于不需要复杂构造的搬送机器人而同时移动多片基板，因此可缩短将基板送到成膜源上所需的时间，但串联型的成膜装置也有需要较宽的设置空间的问题。
再者，串联型的成膜装置使搭载基板的旋转辊旋转而搬送基板，旋转辊旋转时会产生灰尘。在成膜源上移动基板时需要将旋转辊设置在成膜源上，当该灰尘下落到成膜源中时，也有污染成膜源的问题。
专利文献1日本特开2003-27213号公报发明内容本发明是为了解决上述现有技术中的问题而作出的，其目的在于提供一种在连续成膜多片基板时可缩短生产间隔时间且设置场所狭窄亦可的成膜装置。
为了解决上述课颗，本发明是一种成膜装置，其特征在于，包括移动室；配置于上述移动室内的转台；分别与上述移动室连接的多个成膜室，上述各成膜室具有配置于上述转台下方的成膜源，上述成膜源放出成膜材料粒子，在上述转台上形成有多个窗部，在上述各窗部上配置有能够载置处理对象物的载置板，使上述转台在水平面内旋转时，上述各窗部能够移动到上述成膜源上方的成膜场所。
本发明是成膜装置，上述窗部在以上述转台的旋转中心为中心的相同圆周上隔开相等间隔地排成一列，在使上述窗部静止于一个成膜场所时，上述窗部也静止于其他的成膜场所。
本发明是成膜装置，上述移动室连接有搬入室，在上述搬入室内配置有搬送机器人，在上述窗部移动的移动路径上设置有借助上述搬送机器人从上述搬入室搬入的上述处理对象物载置于上述载置板上的搬入场所，上述窗部的个数比成膜场所的个数多，使上述窗部分别静止于上述各成膜场所时，上述窗部也静止于上述搬入场所。
本发明是成膜装置，上述移动室连接有搬入室，在上述搬入室内配置有搬送机器人，在上述移动路径上设置有借助上述搬送机器人将上述处理对象物从上述窗部上的上述载置板搬出至上述搬出室的搬入场所，使上述窗部静止于上述搬入场所时，上述窗部也静止于上述搬出场所。
本发明是成膜装置，上述成膜场所排列于上述搬入场所和上述搬出场所之间，上述搬入场所和与上述搬入场所邻接的上述成膜场所之间的间隔、上述搬出场所和与上述搬出场所邻接的上述成膜场所之间的间隔、及上述成膜场所与上述成膜场所之间的间隔相互大致相等。
本发明是成膜装置，上述搬出场所和上述搬入场所之间的间隔与上述成膜场所和上述成膜场所之间的间隔相同。
本发明是成膜装置，上述载置板具有比上述窗部小的载置部和设置于上述载置部周围的爪部，该载置板的该爪部搭载于上述窗部的边缘而配置于上述窗部上，上述窗部在周围具有缺口，在使位于上述转台上方的上述载置板旋转而使上述爪部与上述缺口的位置一致的状态下，上述爪部通过位于上述成膜室上的上述窗部的上述缺口，上述载置板移动到上述转台的下方。
本发明是成膜装置，具有能够保持上述载置板的保持部，上述载置板在保持于上述保持部的状态下能够与上述保持部一起通过上述窗部。
本发明是成膜装置，上述保持部能够与保持于上述保持部的上述载置板一起在水平面内旋转。
本发明是具有多个成膜装置的制造装置，其特征在于，上述各成膜装置具有移动室；配置于上述移动室内的转台；分别与上述移动室连接的多个成膜室，上述各成膜室具有配置于上述转台下方的成膜源，上述成膜源放出成膜材料粒子，在上述转台形成有多个窗部，在上述各窗部上配置有能够载置处理对象物的载置板，使上述转台在水平面内旋转时，上述各窗部能够移动到上述成膜源上方的成膜场所，上述各移动室分别连接有搬入室和搬出室，在上述搬入室的内部和上述搬出室的内部分别配置有搬送机器人，在上述窗部移动的移动路径上分别设置有借助上述搬送机器人从上述搬入室所搬入的上述处理对象物载置于上述载置板上的搬入场所；和借助上述搬送机器人将上述处理对象物从上述窗部上的上述载置板搬出至上述搬出室的搬出场所，上述窗部的个数比成膜场所的个数多，分别使上述窗部静止于上述各成膜场所时，上述窗部也分别静止于上述搬入场所和上述搬出场所，一个上述成膜室的上述搬入室与其他的上述成膜室的上述搬出室连接。
本发明是成膜方法，将基板依次输送到多个成膜源上，在上述各成膜源上分别使从上述成膜源放出的成膜材料到达上述基板表面，在上述基板表面上膜形成多层的上述成膜材料，在配置于多个上述成膜源的转台上载置上述基板，使上述转台在水平面内旋转，将上述基板依次输送到上述成膜源上。
本发明是成膜方法，使设置于上述转台的窗部分别静止于上述成膜源上，分别使上述基板通过上述成膜源上的上述各窗部而下降，使1片上述基板分别接近上述各成膜源，在上述各成膜源上对上述基板的表面进行成膜。
根据本发明，由于一次进行从搬入场所将基板搬送到排头的成膜场所的工序；从一个成膜场所将基板送到其他成膜场所的工序；从最后的成膜场所将基板送到搬出场所的工序；从搬出场所将空的载置板送回至搬入场所的工序，因此可缩短将基板搬送到各场所的时间。基板的搬入搬出和向成膜场所的移动都在相同的转台上进行，因此与以往的串联型相比设置场所狭窄也无妨。由于借助转台的旋转进行基板的搬送，因此在成膜源上不会产生灰尘，也不会污染成膜源。
图1是说明有机电致发光元件的一例的剖视图。
图2是说明本发明的制造装置的一例的图。
图3是本发明的成膜装置的局部剖视图。
图4是搬入场所、成膜场所、和搬出场所的位置关系的说明图。
图5是载置板的俯视图。
图6(a)是将载置板载置于窗部的边缘时的俯视图，图6(b)是载置板通过窗部时的俯视图。
图7(a)及(b)是说明使载置板下降的工序的剖视图。
图8(a)及(b)是说明使载置板上升的工序的剖视图。
图9(a)至(c)是说明制造有机电致发光元件的工序的剖视图。
标号说明1制造装置5R、5G、5B成膜装置30成膜室35成膜源45移动室48保持部50处理对象物51转台52窗部53缺口56a搬入场所56b搬出场所57成膜场所61载置板62载置部63爪部C旋转中心
具体实施例方式
图1的附图标记10表示使用本发明的成膜装置制造的有机电致发光元件的一例。有机电致发光元件10具有透明的支承板11。支承板11的表面有规则地配置有凸状的隔壁29，在隔壁29之间配置有下部电极膜13。
在下部电极膜13上配置有不同的三色的发光点20R、20G、20B。发光点20R、20G、20B在此具有红色、绿色或蓝色的发光层16R、16G、16B，当在最上部的上部电极膜19和下部电极膜13之间施加电压而通电时，分别发出红色光、绿色光、蓝色光。
在此，各发光点20R、20G、20B除了发光层16R、16G、16B的颜色不同之外，其余具有相同的构成，各发光点20R、20G、20B从下层开始，由空穴注入层14、空穴传输层15、发光层16R、16G、16B、电子传输层17、电子注入层18及上部电极膜19构成。
图2的附图标记1表示制造上述有机电致发光元件10的本发明的制造装置的一例。该制造装置1具有搬入部A、成膜部L及搬出部M。成膜部L具有一台至多台的成膜装置5R、5G、5B。
各成膜装置5R、5G、5B为相同的构造，首先，说明各成膜装置5R、5G、5B。各成膜装置5R、5G、5B分别具有移动室45、搬入室41及搬出室42，搬入室41和搬出室42与移动室45连接。
在移动室45的底壁气密性地插通旋转轴77，在其上端安装有转台51(图3)。在移动室45的外部配置有第一马达76，旋转轴77的下端与第一马达76连接，当使第一马达76动作时，使移动室45的内部空间与外部环境气体隔断，旋转轴77以其旋转轴线P为中心而旋转，转台51与旋转轴77一起以旋转轴线P为中心而旋转。
在此，旋转轴线P朝向垂直方向，转台51成为水平地安装于旋转轴77，因此转台51在水平面内旋转。图4的附图标记C是旋转轴线P上的点，表示转台51的旋转中心。
在转台51形成4个以上的大致圆形窗部52，其从转台51的正面贯通至背面。各窗部52的中心位于以旋转中心C为中心的相同圆的圆周上，当转台51以该旋转中心C为中心旋转时，窗部52将上述圆周设为移动路径而沿着上述圆周移动。
当将连结相邻接的窗部52的中心和旋转中心C这2个线段所构成的角度设为窗部间中心角度时，窗部间中心角度在各窗部52中为相等的，因而，连结彼此相互邻接的窗部52的中心的圆弧之长度、即沿着相邻接的窗部52的中心间的上述圆周的窗部间距离相等，各窗部52沿着移动路径留出等间隔而配置。
在搬入室41和搬出室42的内部配置有未图示的搬送机器人。图4的附图标记50表示处理对象物。在窗部52的移动路径上设定有配置有借助搬入室41内的搬送机器人搬入到移动室45内的处理对象物50的搬入场所56a；以及移动到搬出室42内的搬送机器人而从移动室45搬出到搬出室42的搬出场所56b。
在移动室45的底壁设置有多个贯通孔55。各贯通孔55的中心以与配置有窗部52的圆周相同的半径而成列地配置于以相同的旋转轴线C为中心的圆周上。
贯通孔55的数量比窗部52的数量少2个，当在搬入场所56a和搬出场所56b各配置一个窗部52时，各贯通孔55配置成位于其他的窗部52的正下方。
在各贯通孔55的下方分别配置有成膜室30。各成膜室30具有真空槽31。在真空槽31的顶部形成有由贯通孔构成的连接口36，成膜室30的连接口36的边缘部分与上述贯通孔55的周围气密连接，因此真空槽31的内部空间和移动室45的内部空间经由连接口36和贯通孔55连接。
各贯通孔55成列地配置于圆周上，以和搬入场所56a邻接的位置的贯通孔55为开头，将与搬出场所56b邻接的位置的贯通孔55设为尾部，各贯通孔55中，从开头的贯通孔55到最后的贯通孔55，以与窗部52之间的间隔相同的间隔沿着圆周成列地配置。
在窗部52位于搬入场所56a和搬出场所56b上的状态下，使转台51静止时，除了位于搬入场所56a的窗部52和搬出场所56b的窗部52之外，贯通孔55位于各窗部52的正下方。
当将窗部52的移动路径上的贯通孔55的上方位置设为成膜场所57时，搬入场所56a、搬出场所56b和成膜场所57以旋转中心C为中心而成列配置在相同的圆周上。
在成膜场所57中，将排头的贯通孔55上设为排头的成膜场所57，将排尾的贯通孔55上设为最后的成膜场所57，当在搬入场所56a的窗部52朝向排头的成膜场所57的旋转方向上旋转转台51，而使一个场所上的窗部移动到邻接的场所时，其他的窗部也移动到邻接的场所。因此，当搬入场所56a的窗部52移动到排头的成膜场所57，成膜场所57的窗部52移动到在旋转方向上邻接的成膜场所57或搬出场所56b时，搬出场所56b的窗部52返回到搬入场所56a。
在各窗部52载置有载置板61，当窗部52移动时，载置板61也一起移动。参照图5，说明载置板61时，载置板61具有圆盘状的载置部62、从载置部62的周围突出的1或2个以上的爪部63、以及设置在载置部62的开口64。
在此，爪部63为多个，各爪部63均等地配置在载置部62的周围，从载置部62的中心到各爪部63的前端为止的距离比从窗部52的中心到窗部52的边缘为止的距离大。
因而，如图6(a)所示，当载置部62比窗部52的边缘更位于内侧时，各爪部63的前端搭载于窗部52的边缘上。载置部62形成为比窗部52小，各爪部63的前端搭载于窗部52的边缘上时，载置部62保持在比窗部52的外周更内侧处。
开口64是从载置部62的正面贯通到背面的贯通孔，上述的处理对象物50在后述的掩模设为下侧的状态下搭载于开口64的边缘上，如上所述，当载置板61配置于窗部52上时，处理对象物50也成为配置于窗部52上的状态。
图3是表示窗部52、和配置于窗部52上的处理对象物50在成膜场所57中静止的状态。如图3所示，在移动室45外部的贯通孔55的上方位置分别配置有第二马达49。在移动室45气密性地垂直插通有升降轴47，升降轴47的上端安装于第二马达49，在升降轴47的下端以位于贯通孔55正上方的方式安装有保持部48。
第二马达49构成为使升降轴47上下或旋转移动，当上下移动升降轴47时，保持部48也上下移动，当旋转升降轴47时，保持部48则在水平面内旋转。
保持部48具有未图示的保持装置，可保持载置板61。载置板61由金属等被磁力所吸附的材料构成时，保持装置例如以电磁铁构成，而在载置板61设置有突起等的卡止部件时，在保持装置设置钩，使钩卡止于卡止部件而可保持载置板61。
如图7(a)所示，保持部48构成为可在载置板61的正上方位置处静止，当使保持部48下降而与载置板61接触并以电磁铁构成保持装置时，当通电产生磁性时，载置板61被吸附于保持部48，当保持部48上升时，载置板61从转台51被举起(图7(b))。
在窗部52的周围与爪部63对应的位置上，设置有与爪部63相同数或多于爪部63的数量的缺口53，使保持部48旋转，使一个爪部63静止在缺口53的正上方位置时，其他的爪部63也分别静止在其他缺口53的正上方位置(图6(b))。
爪部63的形状比缺口53小，保持部48的外形比窗部52小。因而，当使爪部63位于缺口53的正上方而垂直下降时，载置板61和保持部48不会与窗部52的外周接触地通过。
在该载置板61上搭载有从搬入室41搬入的处理对象物50。处理对象物50的外形也小于窗部52，与保持部48一起使载置板61升降移动，可使处理对象物位于转台51的上方或下方的位置(图8(a))。
又，保持于保持部48的载置板61，在使保持部48旋转而使爪部63从缺口53上退避、将爪部63搭载于窗部52的边缘上并消除保持部48的吸附力时，可使处理对象物50位于转台51上(图8(b))。
在载置板61设置有开口64，处理对象物50露出至开口64的底面。使载置板61移动到比转台51更下方，当下降到比贯通孔55的内部或贯通孔55更下方的位置时，载置板61上的处理对象物50经由开口64面对真空槽31的内部空间。
如图3所示，在真空槽31的内部配置有成膜源35，成膜源35具有一至多个容器32、33。在各容器32、33内分别配置有蒸镀材料，在处理对象物50面对真空槽31的状态下，从一至多个容器32、33分别放出蒸镀材料的蒸气，该蒸气通过开口64底面的掩模的开口到达基板而形成薄膜。
将与搬入场所56a邻接的成膜场所的真空槽31设为排头，将与搬出场所56b邻接的成膜场所57的真空槽31设为排尾，在排头的真空槽31配置有空穴注入性物质和空穴传输性的有机物，在之后的真空槽31配置有电子传输性的有机物、和作为添加剂的发色有机物。
又，在下一个真空槽31配置有电子注入性的物质，在排尾的真空槽31配置有电极材料。
各成膜装置5R、5G、5B配置有空穴注入性物质(例如CuPC铜酞菁)、空穴传输性物质(例如α-NPD；2[N-(1-萘基)-N-苯基]联苯胺)、电子传输性物质(例如Alq3；8-羟基喹啉铝(Tris(8-hydroxyquinoline)aluminum)错合物)、电子注入性物质(例如LiF；氟化锂)、以及电极材料(例如金属铝)。又，添加物在各成膜装置5R、5G、5B中不同，作为添加物在此分别配置有红色、绿色、蓝色的发色有机物。
在各真空槽31内放出蒸镀材料物质的蒸气时，形成空穴注入层14、空穴传输层15、发光层16R、16G、16B、电子传输层17、电子注入层18、及上部电极膜19。又，发光层16R、16G、16B发出红、绿或蓝色的光。
然后，说明使用上述制造装置1制造有机电致发光元件10的工序。
图9(a)的附图标记9表示搬入到上述制造装置而形成有机电致发光元件10的基板，在此，基板9具有支承板11、分别形成于支承板11的表面的下部电极膜13及隔壁29。
图2所示的搬入部A具有置换室21、22、干燥室23、清洗室24、冷却室25及待机室26，将已经清洗的基板9搬入到置换室21、22，将非活性气体(例如N2气体)导入至置换室21、22，以非活性气体置换置换室21、22内的环境气体之后，将置换室21、22内部与干燥室23内部连接，将基板9搬入至干燥室23内。将干燥气体导入至干燥室23的内部，将该内部环境气体设为干燥气体环境，将基板9表面的水份除去，并搬入至清洗室24内。在清洗室24内部产生紫外线，对基板9表面照射该紫外线而分解除去污染物质之后，搬入到冷却室25内。在冷却室25内配置有未图示的冷却装置，使基板9冷却之后，搬入到待机室26内。
各成膜装置5R、5G、5B具有未图示的真空排气系统，在各成膜装置5R、5G、5B的移动室45、搬入室41和搬入室41内部预先形成真空环境。
成膜装置5R、5G、5B的排头的成膜装置5R的搬出室42与下一个成膜装置5G的搬入室41连接，该成膜装置5G的搬出室42与排尾的成膜装置5B的搬入室41连接。待机室26与排头的成膜装置5R的搬入室41连接，已被冷却的基板9首先通过待机室26，再搬入到排头的成膜装置5R的搬入室41。
各成膜装置5R、5G、5B的搬入室41和搬出室42连接有掩膜储存器43、44，从掩膜储存器43将红色用的掩模70R移动到搬入室41内，借助未图示的对准装置使该掩模70R与基板9重合，以固定部件71固定而形成处理对象物50。
该掩膜70R在应形成有红色发光点的位置上形成有开口，处理对象物50顺利地通过上述的成膜场所57而依次形成空穴注入层14、空穴传输层15、发光层16R(在此为红色)、电子传输层17、电子注入层18及上部电极膜19。图9(b)表示该状态的基板9，将形成有红色发光点20R的基板9从搬出场所56b的载置板61搬送至搬出室42。
在搬出场所56b除去处理对象物50而成为空载的载置板61，在结束在各成膜场所57中的成膜且旋转转台51而从成膜场所57送到下一个成膜场所57或搬出场所56b时，从搬出场所56b返回搬入场所56a。此时，搭载有未处理的处理对象物50的载置板61从搬入场所56a送到排头的成膜场所57。
如此，通过使转台51旋转，使各窗部52移动到下一个场所56a、56b、57，而使处理对象物50一起朝向下一个场所56a、56b、57移动，并且使位于搬出场所56b的载置板61返回搬入场所56a。
在搬出室42配置有未图示的分离机构，使移动至搬出室42的处理对象物50分离成掩模70R和基板9，使掩膜70R回到掩膜储存器44，将基板9送到下一个成膜装置5G的搬入室41。
第2个成膜装置5G和最后的成膜装置5B的掩膜储存器43收容有绿色用掩模70G和蓝色用掩模70B，当在搬入室41使这些掩模70G、70B与基板重合时，在掩模70G、70B的开口仅露出应形成绿色的发光点的位置或应形成蓝色的发光点的位置，其他的位置以掩膜70G、70B加以覆盖。
在第2个成膜装置5G的搬入室内，使绿色用的掩模70G与基板9重合，与上述排头的成膜装置5R的情况相同，当在移动室45内移动时，在已经形成的红色发光点20R、和应形成的下一个发光点的位置上未形成有膜，但在应形成绿色的发光点的位置上形成有绿色的发光点20G(图9(c))。
在第2个成膜装置5G的搬出室42和最后的成膜装置5B的搬入室42中，将掩模G更换为蓝色用的掩模70B交换，同样地在移动室45内移动处理对象物50时，虽然在已经形成的发光点20R、20G未形成有膜，但在应形成蓝色的发光点的位置上形成有蓝色的发光点20B。
搬入部M具有排出待机室28，最后的成膜装置5B的搬出室42与排出待机室28连接。从移动室45将形成有上述各色的发光点20B的基板9移动至搬出室42，在除去掩模70B之后，将基板9通过排出待机室28取出到外部环境气体中，得到图1所示的有机电致发光元件10。
以上，虽说明从搬出场所56b将举起处理对象物50之后的载置板61移动至搬入场所56a后，载置新的处理对象物50的情况，但本发明并不限定于此。
也可以用搬送机器人将处理对象物50从载置板61举起而使载置板61所搭载的窗部52静止，即、在相同的窗部52上，将新的处理对象物50放置于载置板61上。总之，搬入场所和搬出场所可设为相同场所。
又，不需要分别设置将处理对象物50搬出至移动室45的搬送机器人、和从移动室45搬出的搬送机器人，而可以用一个搬送装置(例如搬送机器人)进行处理对象物50的搬入和搬出。
窗部52的数量没有特别限制。窗部52的数量可设为比搬入场所56a的数量、搬出场所56b的数量及成膜场所57的总和还多，也可以当窗部52静止于搬入场所56a和搬出场所56b和各成膜场所57时，一个以上的窗部52静止于这些场所56a、56b、57以外的场所。
又，与此相反，也可将窗部52的数量设为比搬入场所56a的数量、搬出场所56b的数量、及成膜场所57的总和要少，当窗部52静止于搬入场所56a时，窗部52不位于一个以上的成膜场所57或搬出场所56b。
成膜装置5R、5G、5B的数量根据更换的掩模种类而决定，其数量没有特别限定。将最初搬送基板9的成膜装置5R设为排头，将最后搬送的成膜装置5B设为排尾，将排头和排尾的成膜装置5R、5B之间的成膜装置设为中间的成膜装置5G时，在上述的制造装置1中，虽然中间的成膜装置5G的数量为1台，但中间的成膜装置5G为多台时，最初的中间的成膜装置5G的搬入室41与排头的成膜装置5R的搬出室42连接，其他的中间的成膜装置5G的搬入室41与其他的中间的成膜装置5G的搬出室42连接。又，最后的中间的成膜装置5G的搬入室42与上述最后的成膜装置5B的搬入室41连接，其他的中间的成膜装置5G的搬出室42是与其他的中间的成膜装置5G的搬入室41连接。
又，从1个成膜装置5R将基板9送到其他成膜装置5G、5B时，也可以不更换掩模，而在被1个成膜装置5R成膜的膜上在其他成膜装置5G、5B中层叠新的膜。
在设置多个成膜装置5R、5G、5B时，也可以成膜装置5R、5G、5B之间不直接连接，而在成膜装置5R和成膜装置5B之间设置如冷却室的其他处理室，经由处理室将在1个成膜装置5R中被成膜处理的基板9搬送到其他的成膜装置5G。
以上，虽然说明成膜源35放出成膜材料的蒸气的情况，但本发明不限定于此，在成膜源35中溅镀成膜材料而放出溅镀粒子的情况也包含于本发明。
若使载置板61下降的位置是成膜材料的粒子(蒸气、溅镀粒子)可到达基板9的位置，则也可位于比贯通孔55更上方的位置。
成膜室30的数量也没有特别的限制。又，在各成膜室30的真空槽31中成膜的膜的数量不限定为1或2，也可在1个真空槽31内形成3层以上的膜。
以上，虽说明在贯通孔55连接成膜室30的情况，但本发明不限定于此，例如也可将成膜室30以外的其他处理室连接于贯通孔55，使窗部52静止在处理室上的位置，在以上工序中，使处理对象物50与载置板61一起下降而能够在处理室内对处理对象物50进行处理。
以上，虽然说明将本发明的制造装置1和制造方法使用于有机电致发光元件10制造的情况，但本发明并不限定于此，本发明若在相同的基板上为2层以上的膜的层叠物，则可用于各种目的，也可使用各种不同的成膜材料。
窗部52的形状、或缺口53的数量或形状没有特别限定。又，关于载置板61的形状或爪部63的数量或形状，若当在爪部63和缺口53重叠时载置板61通过窗部52，爪部63不与缺口53重合时载置板61搭载于窗部52的边缘圆上，则没有特别限定。
权利要求
1.一种成膜装置，其特征在于，具有移动室；配置于上述移动室内的转台；分别与上述移动室连接的多个成膜室，上述各成膜室具有配置于上述转台下方的成膜源，上述成膜源放出成膜材料粒子，在上述转台上形成有多个窗部，在上述各窗部上配置有能够载置处理对象物的载置板，使上述转台在水平面内旋转时，上述各窗部能够移动到上述成膜源上方的成膜场所。
2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，上述窗部在以上述转台的旋转中心为中心的相同圆周上隔开相等间隔地排成一列，使上述窗部静止在一个成膜场所时，上述窗部也静止在其他的成膜场所。
3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，上述移动室连接有搬入室，在上述搬入室内配置有搬送机器人，在上述窗部移动的移动路径上设置有借助上述搬送机器人从上述搬入室搬入的上述处理对象物载置于上述载置板上的搬入场所，上述窗部的个数比成膜场所的个数多，分别使上述窗部静止在上述各成膜场所时，上述窗部也静止在上述搬入场所。
4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，上述移动室连接有搬出室，在上述搬出室内配置有搬送机器人，在上述移动路径上设置有借助上述搬送机器人将上述处理对象物从上述窗部上的上述载置板搬出到上述搬出室的搬出场所，使上述窗部静止在上述搬入场所时，上述窗部也静止在上述搬出场所。
5.如权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，上述成膜场所排列在上述搬入场所和上述搬出场所之间，上述搬入场所和与上述搬入场所邻接的上述成膜场所之间的间隔、上述搬出场所和与上述搬出场所邻接的上述成膜场所之间的间隔、及上述成膜场所与上述成膜场所之间的间隔设为相互大致相等。
6.如权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，上述搬出场所和上述搬入场所之间的间隔与上述成膜场所和上述成膜场所之间的间隔相同。
7.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，上述载置板具有比上述窗部小的载置部和设置于上述载置部周围的爪部，该载置板的该爪部搭载于上述窗部的边缘上而配置于上述窗部上，上述窗部在周围具有缺口，在使位于上述转台上方的上述载置板旋转而使上述爪部与上述缺口的位置一致的状态下，上述爪部通过位于上述成膜室上的上述窗部的上述缺口时，上述载置板移动到上述转台的下方。
8.如权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，具有能够保持上述载置板的保持部，上述载置板在保持于上述保持部的状态下能够与上述保持部一起通过上述窗部。
9.如权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，上述保持部能够与保持于上述保持部的上述载置板一起在水平面内旋转。
10.一种制造装置，具有多个成膜装置，其特征在于，上述各成膜装置具有移动室；配置于上述移动室内的转台；分别与上述移动室连接的多个成膜室，上述各成膜室具有配置于上述转台下方的成膜源，上述成膜源放出成膜材料粒子，在上述转台上形成有多个窗部，在上述各窗部上配置有能够载置处理对象物的载置板，使上述转台在水平面内旋转时，上述各窗部能够移动到上述成膜源上方的成膜场所，上述各移动室分别连接有搬入室和搬出室，在上述搬入室的内部和上述搬出室的内部分别配置有搬送机器人，在上述窗部移动的移动路径上分别设置有将借助上述搬送机器人从上述搬入室所搬入的上述处理对象物载置于上述载置板上的搬入场所；和借助上述搬送机器人将上述处理对象物从上述窗部上的上述载置板搬出至上述搬出室的搬出场所，上述窗部的个数比成膜场所的个数多，分别使上述窗部静止在上述各成膜场所时，上述窗部也分别静止在上述搬入场所和上述搬出场所，一个上述成膜室的上述搬入室与其他的上述成膜室的上述搬出室连接。
11.一种成膜方法，将基板依次输送到多个成膜源上，在上述各成膜源上分别使从上述成膜源放出的成膜材料到达上述基板表面，在上述基板表面上形成多层上述成膜材料的膜，在配置于多个上述成膜源上的转台上载置上述基板，使上述转台在水平面内旋转而将上述基板依次输送到上述成膜源上。
12.如权利要求11所述的成膜方法，其特征在于，使设置于上述转台的窗部分别静止在上述成膜源上，分别使上述基板通过上述成膜源上的上述各窗部而下降，使1片的上述基板分别接近上述各成膜源，在上述各成膜源上对上述基板表面进行成膜。
全文摘要
在短时间内实现多个膜的层叠。本发明的成膜装置(5R、5G、5B)具有移动室(45)和转台(51)，在转台(51)的窗部(52)上搭载有载置基板(9)的载置板(61)。使转台(51)旋转而移动窗部(52)时，载置板(61)在搭载基板(9)情况下与窗部(52)一起移动。使转台(51)旋转既定角度，从搬入场所(56a)输送新的基板(9)，将成膜处理后的基板(9)输送至其他成膜场所(57)，使空的载置板(61)从搬出场所(56b)暂时返回至搬入场所(56a)，因此可缩短将基板(9)搬送至各场所(56a、56b、57)的时间或载置板(61)返回的时间。
文档编号C23C14/24GK101068949SQ200680001338
公开日2007年11月7日 申请日期2006年6月8日 优先权日2005年6月15日
发明者根岸敏夫 申请人:株式会社爱发科