采用等离子体cvd法的蒸镀膜的制作方法技术资料下载

技术编号:3404907

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本发明涉及通过等离子体CVD法在塑料瓶等的基体表面形成的蒸 镀膜。背景技术以往,为了改善各种基体的特性,进行了采用等离子体CVD法在 其表面形成蒸镀膜的操作。例如,在包装材料领域,对于容器等塑料基 材,已知通过等离子体CVD法形成蒸镀膜而提高阻气性。例如,已知一种塑料容器的制造方法,其特征在于,在通过使用有 机硅化合物和氧或者具有氧化能力的气体,并利用等离子体CVD法在 塑料容器的外表面或内表面形成蒸镀膜(阻挡层)时,有机硅化合物的浓度发生变化,所述蒸镀膜...
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