技术编号:3407946
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶棒平磨抛光机。 背景技术在晶棒的生产过程中,需要对晶棒的外表面进行平磨抛光,普遍采用的方法是手 持角向磨光机对晶棒进行手工打磨。这种方法对操作人员的技术水平要求非常高,且由于 人员素质参差不齐的原因,整体抛光效果不好,工艺稳定性差,同时,既费工费力,又生产效 率低。发明内容本实用新型的目的是提供能替代手工作业,且抛光效果好的一种晶棒平磨抛光 机。本实用新型采取的技术方案是一种晶棒平磨抛光机,包括机架、抛光轮、底座、左 右轨道、左右轨道轴...
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