专利名称：一种晶棒平磨抛光机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶棒平磨抛光机。
背景技术：
在晶棒的生产过程中，需要对晶棒的外表面进行平磨抛光，普遍采用的方法是手 持角向磨光机对晶棒进行手工打磨。这种方法对操作人员的技术水平要求非常高，且由于 人员素质参差不齐的原因，整体抛光效果不好，工艺稳定性差，同时，既费工费力，又生产效 率低。
发明内容本实用新型的目的是提供能替代手工作业，且抛光效果好的一种晶棒平磨抛光 机。本实用新型采取的技术方案是一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左 右轨道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架 和晶棒夹具；其中的抛光轮设置在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架 上；其特征在于左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右 轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨 道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基 座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移 动。一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传 动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设 置在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于前后轨道设置在 底座上，前后传动杆固定在底座或基座上，基座设置在前后轨道轴承上，前后轨道轴承设置 在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动；晶棒托架固设在左右 轨道轴承上，左右传动杆固设在基座或晶棒托架上，左右轨道轴承设置在左右轨道，且左右 轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动。采用本实用新型，只要将晶棒固定在晶棒托架上，并通过机械自动控制晶棒前后、 左右移动，进行晶棒的抛光，可替代手工作业，且抛光效果好。
图1是本实用新型实施例一的示意图。图2是本实用新型实施例二的示意图。图中序号表示机架1、抛光轮2、前后传动杆3、晶棒托架4、前后轨道轴承5、基座 6、左右轨道轴承7、左右轨道8、底座9、晶棒夹具10、前后轨道11和左右传动杆12。[0010]下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。实施例一参照图1，该晶棒平磨抛光机是通过普通钻床改进的，它包括机架1、抛光轮2、底 座9、左右轨道8、左右轨道轴承7、左右传动杆12、基座6、前后轨道11、前后轨道轴承5、前 后传动杆3、晶棒托架4和晶棒夹具10，其中的抛光轮2设置在机架1上，机架1固定在底 座9上，晶棒夹具10设置在晶棒托架4上；左右轨道8设置在底座9上，左右传动杆12固 定在底座9上(左右传动杆12也可固定在基座6上)，基座6设置在左右轨道轴承7上，左 右轨道轴承7设置在左右轨道8上，且左右轨道轴承7通过左右传动杆12在左右轨道8上 移动；晶棒托架4固设在前后轨道轴承5上，前后传动杆3固定在晶棒托架4上(或是固定 在基座6上)，前后轨道轴承5设置在前后轨道11上，且前后轨道轴承5通过前后传动杆3 在前后轨道11上移动。使用时，把晶棒放置到晶棒托架4上，并用晶棒夹具10夹紧晶棒。按下启动按钮， 钻头带动抛光轮2高速转动；同时，采用电机对左右传动杆12和前后传动杆3进行控制，利 用电控程序对电机进行正反向运转设计(或是在左右轨道8和前后轨道11的某个位置设 置一个限位开关，一旦左右传动杆12或是前后传动杆3碰到限位开关，电机将改变运转方 向。)，即可实现晶棒前后、左右的来回移动并进行抛光，从而替代手工作业，且抛光效果好。实施例二参照图2，该晶棒平磨抛光机是通过普通钻床改进的，它包括机架1、抛光轮2、底 座9、左右轨道8、左右轨道轴承7、左右传动杆12、基座6、前后轨道11、前后轨道轴承5、前 后传动杆3、晶棒托架4和晶棒夹具10，其中的抛光轮2设置在机架1上，机架1固定在底 座9上，晶棒夹具10设置在晶棒托架4上；前后轨道11设置在底座9上，前后传动杆3固 定在底座9上(前后传动杆3也可固定在基座6上)，基座6设置在前后轨道轴承5上，前 后轨道轴承5设置在前后轨道11上，且前后轨道轴承5通过前后传动杆3在前后轨道11 上移动；晶棒托架4固定在左右轨道轴承7上，左右传动杆12固定在晶棒托架4上(或是 固定在基座6上)，左右轨道轴承7设置在左右轨道8上，且左右轨道轴承7通过左右传动 杆12在左右轨道8上移动。使用时，把晶棒放置到晶棒托架4上，并用晶棒夹具10夹紧晶棒。按下启动按钮， 钻头带动抛光轮2高速转动；同时，采用电机对左右传动杆12和前后传动杆3进行控制，利 用电控程序对电机进行正反向运转设计(或是在左右轨道8和前后轨道11的某个位置设 置一个限位开关，一旦左右传动杆12或是前后传动杆3碰到限位开关，电机将改变运转方 向。)，即可实现晶棒前后、左右的来回移动并进行抛光，从而替代手工作业，且抛光效果好。
权利要求1.一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动 杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设置 在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于左右轨道设置在底 座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在 左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨 道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨 道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。
2.一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动 杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设置 在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于前后轨道设置在底 座上，前后传动杆固定在底座或基座上，基座设置在前后轨道轴承上，前后轨道轴承设置在 前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动；晶棒托架固设在左右轨 道轴承上，左右传动杆固设在基座或晶棒托架上，左右轨道轴承设置在左右轨道，且左右轨 道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动。
专利摘要本实用新型涉及一种晶棒平磨抛光机，该抛光机的左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。采用本实用新型，只要将晶棒固定在晶棒托架上，并通过机械自动控制晶棒前后、左右移动，进行晶棒的抛光，可替代手工作业，且抛光效果好。
文档编号B24B29/04GK201856157SQ20102057661
公开日2011年6月8日 申请日期2010年10月23日 优先权日2010年10月23日
发明者余城伟, 徐增宏, 方明游, 王土军 申请人:浙江硅宏电子科技有限公司