技术编号：3408724
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用属于化学气相沉积(CVD)的，特别提供了一种气相沉积炉。 背景技术氮化硼具有很高的热稳定性，其制品在高新许多新材料的制备过程中是 不可缺少的用具，用气相沉积法制作的热解氮化硼制品，壁薄、密度高、强度高、省料且成品 率高，成为氮化硼产品制备中一种很常用的方法，特别是热解氮化硼坩埚的制备。通常的气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉 体底部或顶部，出气口通常与之相对，为使气相沉积均勻，进气口常采用同心圆筒的方式， 模具对准进...
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