专利名称：一种气相沉积炉的制作方法
技术领域：
本实用属于化学气相沉积(CVD)的技术领域，特别提供了一种气相沉积炉。
背景技术：
氮化硼具有很高的热稳定性，其制品在高新技术领域许多新材料的制备过程中是 不可缺少的用具，用气相沉积法制作的热解氮化硼制品，壁薄、密度高、强度高、省料且成品 率高，成为氮化硼产品制备中一种很常用的方法，特别是热解氮化硼坩埚的制备。通常的气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉 体底部或顶部，出气口通常与之相对，为使气相沉积均勻，进气口常采用同心圆筒的方式， 模具对准进气口，且有齿轮使每一只吊挂的产品都进行自转。然而，当制作大尺寸的热解氮 化硼制品时，容易导致锅底较厚，而侧壁较薄，同时由于原料气体在空间分布的不均勻，导 致壁厚分布不均勻的现象时有发生。当同时制作多个热解氮化硼制品时，也容易导致导致 壁厚分布不均勻。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉的进气口为三同心圆 进气口，在炉体内或炉体外设有旋转机构，可以有多只产品模具在炉内同时进行公转、自 转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼(PBN)制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率， 降低生产成本。本实用新型具体提供了一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气 口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于在炉体内或炉体外设有旋转 机构，所述旋转机构由广36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过 伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮 啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随 着齿轮的自转公转实现了产品(模具)在炉内的公转与自转。本实用新型提供的气相沉积炉，其特征在于所述旋转机构在炉内的上端或下端。本实用新型提供的气相沉积炉，其特征在于进气口为三同心圆进气口 C 气口的 数量一般为纩12个)。根据需要，三同心圆进气口原理可延伸为弧形、半圆形、长方形等等 的进气模式。采用三同心圆进气可以使原料气体混合的更加均勻，致使气体不发生明显的 偏析，使得大坩埚与一炉多只的小坩埚颜色均勻。三同心圆进气口对于生产大尺寸产品的 效果比同心圆进气口更好。采用本实用新型提供的气相沉积炉制备而得的产品，尺寸一致、颜色归一、规格相 同，在提高产品合格率的同时，也大大提高了其生产效率。
图1 一炉三只气相沉积炉结构3[0010]图2 —炉五只气相沉积炉结构图。
具体实施方式
实施例1如图1所示，该气相沉积炉包括双壁水冷炉体1、进气口 2、出气口 3、模具4、旋转 机构5以及发热体6，其中旋转机构由转盘5. 1、齿轮5. 2、连接轴5. 3、伞齿轮组5. 4、齿套 5. 5以及电机5. 6组成。发热体6由感应线圈6. 1、加热体6. 2以及石墨套筒6. 3组成。其 中电机5. 6通过伞齿轮组5. 4与转盘5. 1相连，两个齿轮5. 2通过连接轴固定在转盘5. 1 下，且每个齿轮下都吊挂一个模具4。齿套5. 5放在石墨套筒6. 3上并与所有齿轮5. 2啮 合。进气口 2为三同心圆进气口，设置在炉体下端。实施例2如图2所示，该气相沉积炉包括双壁水冷炉体1、进气口 2、出气口 3、模具4、旋转 机构5以及发热体6，其中旋转机构由转盘5. 1、齿轮5. 2、连接轴5. 3、伞齿轮组5. 4、齿套 5.5以及电机5. 6组成。发热体6由感应线圈6.1、加热体6. 2以及石墨套筒6. 3组成。其 中电机5. 6通过伞齿轮组5. 4与转盘5. 1相连，五个齿轮5. 2通过连接轴固定在转盘5. 1 上，且每个齿轮上都直立一个模具4。齿套5. 5放在石墨套筒6. 3上并与所有齿轮5. 2啮 合。进气口 2为三同心圆进气口，设置在炉体上端。
权利要求1.一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、发热体、进气口、出气口以及模具，进气口 在炉体底部或顶部，其特征在于在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由广36 个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮 通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具。
2.按照权利要求1所述气相沉积炉，其特征在于所述旋转机构在炉内的上端或下端。
3.按照权利要求1或2所述气相沉积炉，其特征在于进气口为三同心圆进气口。
4.按照权利要求3所述气相沉积炉，其特征在于三同心圆进气口为弧形、半圆形或长 方形的进气模式。
专利摘要本实用新型的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。
文档编号C23C16/44GK201890928SQ201020617180
公开日2011年7月6日 申请日期2010年11月22日 优先权日2010年11月22日
发明者赵凤鸣, 赵林 申请人:赵凤鸣, 赵林