技术编号：3408800
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及气体供气分布装置，尤其属于真空镀膜生产线中的靶条供气分布直O背景技术目前在真空镀膜生产线中，都会有对靶条进行惰性气体供气的装置，最先是在铜 管上间隔均勻地钻孔，这样会导致铜管进口一端气流量大，铜管出口一端气流量小，整条靶 线的供气很不均勻；后来人们经过改进是将出气铜管分段分级焊接，然后再通过分段分级 焊接后的铜管出气管进行供气，这样虽然对于新设备达到了供气较为均勻，但是，铜管分段 焊接工艺复杂，导致成本提高，而且在分段分级的铜管供气经过一段时...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。