专利名称：一种真空镀膜靶条气体供气分布装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体供气分布装置，尤其属于真空镀膜生产线中的靶条供气分布
直O
背景技术：
目前在真空镀膜生产线中，都会有对靶条进行惰性气体供气的装置，最先是在铜 管上间隔均勻地钻孔，这样会导致铜管进口一端气流量大，铜管出口一端气流量小，整条靶 线的供气很不均勻；后来人们经过改进是将出气铜管分段分级焊接，然后再通过分段分级 焊接后的铜管出气管进行供气，这样虽然对于新设备达到了供气较为均勻，但是，铜管分段 焊接工艺复杂，导致成本提高，而且在分段分级的铜管供气经过一段时间后，铜管很容易吸 附靶镀膜后杂质在管外壁，由于铜管是分段分级焊接，管外的杂质容易掉落玻璃上，导致膜 层易产生针孔，从而导致产品缺陷，本实用新型发明大大提高了产品成品率。
实用新型内容本实用新型的目的是，为了克服现有技术的缺陷与不足，提供一种结构简单、容易 清理、能长时间保持供气均勻的真空镀膜生产线的靶条供气分布装置。本实用新型的目的可以通过采取以下技术方案达到一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括供气管，流量装置和出气装置，所述的供气管通过所述的流量装置与出气装置连接，所述的出气装 置包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶 梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面。作为本实用新型专利的优选实施例，在一块板材上铣出5到7组槽，每组槽是相互 独立供气的。与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点一、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利靶条气体供气分布装置，在板材上 铣槽，相对于现有的将铜管分段分级焊接，工艺简单易行。二、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利靶条气体供气分布装置，在板材上 铣槽，取代现有的将铜管分段分级焊接，使得供气装置更为耐用，而且随时能够保持整条供 气管路供气均勻。三、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利靶条气体供气分布装置，在板材上 铣槽，取代现有的将铜管分段分级焊接，铜管很容易吸附靶镀膜后杂质在管外壁，由于铜管 是分段分级焊接，管外的杂质容易掉落玻璃上，导致膜层易产生针孔，从而导致产品缺陷， 本实用新型发明大大提高了产品成品率。四、由于在板材上铣槽工艺简单，可以达到每组出气口的间隔距离短，从而使供气 更为均勻。五、由于每组供气槽是相互独立的，因此可以实现分段供气。
图1是本实用新型靶条气体供气分布装置整体结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作详细描述。如图1所示，本实用新型靶条气体供气分布装置，由两块板材(图中未示)构成出 气装置，两块板的接触面是气体密封面，所述的流量计(图中未示)通过供气管8与各组出 气槽连接，在一块板材上均勻地铣横向槽2、4、6和竖向槽1、3、5、7，槽1沿靶条方向均勻分 布，根据需要确定槽1的间隔距离，横向槽2将相邻两个槽1连通，流过流量计(图中未示) 的气体经过供气管8依次流过槽7、6、5、4、3、再到槽2、最后由槽1出气，根据需要确定每组 出气装置中横槽和竖槽的数量。由于该工艺简单易行，可以使出气一级的槽间隔距离少，从而达到供气更为均勻， 而且每组槽是相对独立的，这样可以实现分段独立供气。以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新 型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求1.一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括供气管，流量装置和出气装置，所述的供 气管通过所述的流量装置与出气装置连接，其特征在于所述的出气装置包括两块板材，在 其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将 相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜靶条气体供气分布装置，其特征在于所述的板材 上每组槽之间是相互独立的，都分别与供气管连接。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜靶条气体供气分布装置，其特征在于在所述的一 块板材上铣出5到7组槽。
专利摘要本实用新型公开了一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面；本实用新型工艺简单，供气更为均匀，能实现分段供气。
文档编号C23C16/455GK201924070SQ20102062199
公开日2011年8月10日 申请日期2010年11月23日 优先权日2010年11月23日
发明者苏贵方 申请人:苏贵方