技术编号：34098848
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及多晶硅清洗技术领域，具体涉及一种清洗料篮。背景技术.多晶硅材料是晶圆片的生产原料，其产品纯度要达到n以上，产品主要用于电子芯片、功率整流器件及功率晶体管等领域。气相沉积法生产的区熔多晶硅为棒状料，供给下游使用需要先破碎成多晶硅块，因为多晶硅产品纯度要求极高，所以破碎过程会造成很严重的污染。根据目前的破碎工艺，无论是人工破碎还是机械破碎，都不可避免地引入各种杂质，并且还有油脂污染的风险，想要去除后期引入的污染，便需要对硅料进行洁净清洗。.目前行业内，硅料清洗一般采用氢氟酸...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。