技术编号:3411679
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及异物除去装置,特别涉及用移动的带除去存在于工件表面的异物的异物除去装置。背景技术以往,在彩色液晶显示装置的TFT (Thin Film Transistor 薄膜晶体管)基板和CF (Color Filter 彩色滤光片)基板的制作中,在玻璃基板上形成各种膜,因此,当在该过程中从成膜装置的可动部分产生的金属粉、成膜材料的碎片、从衣物等产生的各种纤维等 作为异物附着于基板表面时,存在该异物成为缺陷,发生像素缺失等显示不良的问题。为了防止该显示不良,...
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