技术编号:34120345
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及金属纯化技术领域,具体为一种金属纯化装置及其方法和应用。背景技术.随着半导体技术的高速发展,半导体技术中核心材料的纯度需求量急剧增加。应用于半导体工艺中的高纯(n,.%)和超高纯(n,.%)金属在当下金属纯化领域的发展中变得越来越重要,已成前沿技术中特定某些领域的核心,金属的纯化技术成为限制下游半导体行业的一大瓶颈。.目前,粗金属的纯化工艺往往通过湿法和干法的多道工艺,且需要反复提炼多次才能提高几个数量级的纯度。传统工艺存在局限较大,提炼过程中样品...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。