技术编号：3412042
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空设备，特别是一种真空镀膜装置。背景技术所谓真空镀膜装置，是一种在呈高真空度的真空室中，使镀料(如铝、金属条等)蒸发成气态分子，附着在待镀工件的表面上，而涂覆上一层金属膜所用的成套装置。该装置包括镀膜真空室，一套真空获得设备和一套蒸发加热电源。真空获得设备由一组初级抽气真空泵组(俗称“粗抽”机组)，一台深度抽气(“精抽”)的扩散泵以及维持真空泵，所组成的真空系统装置(含配套的真空管道和真空阀)；它使镀膜设备获得真空并在工作周期内维持高真...
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