专利名称：双室真空镀膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空设备，特别是一种真空镀膜装置。
背景技术：
所谓真空镀膜装置，是一种在呈高真空度的真空室中，使镀料(如铝、金属条等)蒸发成气态分子，附着在待镀工件的表面上，而涂覆上一层金属膜所用的成套装置。该装置包括镀膜真空室，一套真空获得设备和一套蒸发加热电源。真空获得设备由一组初级抽气真空泵组(俗称“粗抽”机组)，一台深度抽气(“精抽”)的扩散泵以及维持真空泵，所组成的真空系统装置(含配套的真空管道和真空阀)；它使镀膜设备获得真空并在工作周期内维持高真空状态；而蒸发加热电源则向设置在真空室内的蒸发加热器供应能量，用以在真空状态下加热置于真空室内的镀料，并使镀料蒸发，附着到工件上，从而达到镀膜的目的。在现有技术中，由一台真空室配一套真空获得设备和一套蒸发加热电源。即由一台粗抽真空泵串联上一台罗茨泵，经真空阀和真空管道连接到真空室上。在真空室内设置有蒸发加热器。而在需要继续提高真空室内的真空度时，要靠一台扩散泵进行深度抽气的所谓“精抽”，该扩散泵经过一个真空阀与上述“粗抽”的真空管道合并后连接到真空室。使扩散泵与“粗抽”机组串联。而扩散泵的另一出口则连接上一台维持真空泵。通过阀门的切换，使初级抽真空与深度抽真空和镀膜分阶段进行。如此周而复始地重复以下工序装夹工件→“粗抽”阶段→“精抽”阶段→加热蒸发(镀膜)→完成镀膜→停止加热→卸真空→取出工件→装夹新工件。在整个生产周期中，核心的镀膜工序仅需60秒，而其它工序则耗费大量时间，部分设备如扩散泵、维持泵、粗抽真空泵等需长期运转。每次装卸工件间歇地进行，所以工作周期较长，设备利用率较低，而且电能热能损失严重，能耗较大，无疑大为增加生产成本。
发明内容
本实用新型的目的在于避免上述现有技术中的不足之处而提供一种工作周期较短，设备利用率较高，能耗较低的双室真空镀膜装置。
本实用新型的目的可通过如下措施来达到本实用新型双室真空镀膜装置，包括有真空室，设置在该真空室内的蒸发加热器，外置的蒸发加热电源装置，以及配套的真空获得设备组，通过管道上配置有所需的真空阀门的真空管道，将上述装置内各台单个设备连接起来，使之构成一个系统装置，其中，真空获得设备组包括有与真空室相连的初级抽气真空泵组和深度抽气真空泵组，其特征在于所述的真空室，由被并联的A真空室和B真空室所构成，A真空室内设置有第一蒸发加热器，B真空室内设置有第二蒸发加热器。另一方面，所述的初级抽气真空泵组由一台第一真空泵串联上一台第一罗茨泵所组成，从第一罗茨泵引出的抽气真空管道，分为两头，一头经第一真空阀连接到A真空室之上，另一头经第二真空阀，连接到B真空室上面，而上述的深度抽气真空泵组，则由一台第二真空泵串联上一台扩散泵所组成，为进一步提高效率，亦可由一台第二真空泵先串联上一台第二罗茨泵，经一个前置真空阀，再串联到扩散泵之上。从扩散泵引出的深度抽气真空管道，经过起换切作用的真空阀，同样分为两头，一头连接到A真空室之上，另一头连接到B真空室上面。上述初级抽气真空泵组和深度抽气真空泵组的管道分别各自连接到真空室上，使两者互不干扰，对真空室进行抽真空。
上述深度抽气真空泵组上，在从扩散泵到真空室之间的一种真空阀，可以是一个连体真空阀，即两个真空阀的阀体连成一体，由第一阀体、第一气缸和第一阀盖组成一个A阀，从该阀体引出的真空管道，连接到A真空室；由第二阀体、第二气缸和第二阀盖组成另一个B阀，从这个阀体引出的真空管道则连接到B真空室上。第一阀体与第二阀体是连成一体的。从第一阀体和第二阀体分别引出真空管道，分头连接到A真空室和B真空室上。这样，更便于切换，使两台真空室分别投入运作。
为节省设备投资，本实用新型采用一套蒸发加热电源，分别依次对两台真空室内的蒸发加热器供电。该套蒸发加热电源装置，由断路器、接触器、调压器、变压器以及第一转换开关和第二转换开关所组成。当第一转换开关接通时，(同时第二转换开关断开)经过上述配电设备调整和配置的电源，经过该开关，对第一蒸发加热器供电，使其加热。反之，当第二转换开关接通时(同时第一转换开关断开)，电源经该开关，对第二蒸发加热器供电、加热。这样，适应了两台真空室交替运作的需要，并节省设备。
此外，按照真空设备的要求，在相关设备和管道上，需设置一些用于卸真空的充气阀，以及旁通阀。在两台真空室之上，和在两组真空泵组的管道上，均设置有充气阀，在第一真空泵与第一罗茨泵之间设置有一个旁通阀，以减少“粗抽”时的气流阻力。
本实用新型双室真空镀膜装置的操作程序如下开机前准备开冷却水、开压缩气源、开第二真空泵，第二罗茨泵、开扩散泵、预热40分钟。真空获得分“粗抽”和“精抽”阶段。首先，启动第一真空泵，打开旁通阀和初级抽气管道上通往其中一台真空室，例如A真空室，之上的第一真空阀，对A真空室抽真空，待达到约500Pa真空度时，关上旁通阀，启动第一罗茨泵，由串联的第一真空泵与第一罗茨泵，对系统继续抽真空，待达到3Pa真空度时，关上第一真空阀，关第一罗茨泵，开启前置阀、开启连体真空阀上的A阀，对A真空室进行深度抽真空，待达到镀膜的工艺条件时，由蒸发加热电源装置，对第一蒸发加热器加热并进行镀膜。另一方面，通过阀门的开关调节，对B真空室可着手进行初步抽真空。待A真空室镀膜完毕，卸真空(即打开充气阀)，取出工件时，B真空室也就进入深度抽真空阶段，随之进入镀膜操作。如此，两台真空室交替地进行抽真空，镀膜或卸真空，卸装工件的操作，使得真空泵、维持泵、扩散泵、蒸发加热器等能保持长期的运转，提高了设备利用率。对本装置各设备调节，可以手动、亦可通过自动化仪表自动调节。
本实用新型装置具有以下优点1、节约能量 本实用新型装置一套的生产能力，相当于两套现有单室镀膜装置，并大大缩短待机时间，而且由于真空设备能够连续运转，本装置较后者的两套装置还节省电耗30％，并提高了设备利用率，缩短工作周期。
2、提高了镀膜质量 本实用新型装置可使真空室达到稳定的较高的真空度，提高了产品质量，减少了返油现象，减少了产品表面上出现铝点。
3、降低投资成本 两台真空室共用一套真空泵组，共用一套蒸发加热电源装置，大为降低了设备投资成本。
4、适应范围广 如将两台真空室做成空间大小不同尺寸，可放置不同规格的工件，解决了小室镀不了大工件，大室镀小工件又浪费，成本高的矛盾。
图1是现有真空镀膜装置的设备布置示意图；图2是本实用新型装置的设备配置示意图；图3是连体真空阀的结构示意图；图4是单个真空阀的结构示意图；图5是蒸发加热电源装置的电路示意图。
各图之中，1是A真空室，1`是B真空室；2、2`是真空室上的充气阀；3是第一真空阀，3`是第二真空阀，4是初级抽气泵组上的充气阀，5是第一真空阀，6是第一真空泵，7是旁通阀，8是连体真空阀，包括A阀和B阀，9是深度抽气泵组上的充气阀，10是第二真空泵，11是第二罗茨泵，12是前置真空阀，13是扩散泵，14是第一蒸发加热器，15第一转换开关，16是断路器，17是接触器，18是调压器，19是变压器，20是第二转换开关，21是第二蒸发加热器，PV是电压表，PA是电流表，8-1是连体真空阀8上的第一阀体，8-2是其上的第一气缸，8-3是第一阀盖，8-1`是第二阀体，8-2`是第二气缸，8-3`是第二阀盖。
具体实施方式
如附图所示，设计制造两台真空室，A真空室1的尺寸为2520×1150×2000mm，B真空室1`为2300×1150×1700mm，第一罗茨泵5选用ZJP-1200罗茨泵，第一真空泵6选用H-150滑阀泵，充气阀4选用CQV-40气动阀，旁通阀7选用高真空挡板阀，第一真空阀3和第二真空阀3`采用GDQ-J250高真空挡板阀，由上述设备和配件如图2所示，组装成初级抽气真空泵组。第二真空泵10选用2X-70旋片泵，第二罗茨泵11选用ZJP-300罗茨泵，扩散泵13选用KT-800扩散泵，加上充气阀9，充气阀2、2`选用CQV-40气动阀，前置真空阀12选用GDQ-J150高真空挡板阀，连体真空阀8选用GDQ-J800，用真空管道如图2所示，连接成一组深度抽气真空泵组。上述两组泵组分别将A真空室1和B真空室1`并联起来，两台真空室内分别设置第一蒸发加热器14和第二蒸发加热器21；而蒸发加热电源装置包括有断路器16，接触器17，调压器18(选用KTF1-164/3-380可控硅调压器)，变压器19(选用SG-51干式变压器)；当中通过第一转换开关15，将电源接通到第一蒸发加热器14之上，通过第二转换开关20，使电源接到第二蒸发加热器21之上。按既定程序操作，交替地在两个真空室内进行真空镀膜。两个转换开关其中一个接通，另一个则断开，交替地对两个真空室的蒸发加热器进行加热。如上所组成的双室真空镀膜装置可用于对6片2440×1830mm尺寸和6片2130×1520mm尺寸的玻璃进行真空镀膜。当然，如需镀同一规格的工件，将两台真空室设计成同一尺寸即可。
权利要求1.一种双室真空镀膜装置，包括有真空室、设置在该真空室内的蒸发加热器、外置的蒸发加热电源装置，以及真空获得设备组，通过配置有真空阀门的真空管道，将上述装置内各台单个设备连接起来，使之构成一个系统装置，其中，真空获得设备组包括有与真空室相连的初级抽气真空泵组和深度抽气真空泵组，其特征在于，所述的真空室由被并联的A真空室(1)和B真空室(1`)所构成，A真空室(1)内设置有第一蒸发加热器(14)，B真空室(1`)内设置有第二蒸发加热器(21)，所述的初级抽气真空泵组和深度抽气真空泵组是相互分开的，前者由一台第一真空泵(6)串联一台第一罗茨泵(5)所组成，从第一罗茨泵(5)引出的真空管道，分头经过第一真空阀(3)和第二真空阀(3`)将A真空室(1)和B真空室(1`)并联起来，而后者的深度抽气真空泵组由一台第二真空泵(10)串联一台扩散泵(13)所组成，从扩散泵(13)引出的深度抽气真空管道，经过一种真空阀，分头连接到A真空室(1)和B真空室(1`)之上。
2.根据权利要求1所述的双室真空镀膜装置，其特征在于，所述的深度抽气真空泵组，包括在第二真空泵(10)引出的真空管道上，先串联上一台第二罗茨泵(11)，经一个前置真空阀(12)，再串联到扩散泵(13)上。
3.根据权利要求1或2所述的双室真空镀膜装置，其特征在于，所述的从扩散泵(13)引出的管道，分头连接到A真空室和B真空室之间所经过的一种真空阀，是一个连体真空阀(8)，该连体真空阀(8)由第一阀体(8-1)，第一气缸(8-2)，第一阀盖(8-3)和第二阀体(8-1`)，第二气缸(8-2`)，第二阀盖(8-3`)所组成，第一阀体(8-1)与第二阀体(8-1`)连成一体，从第一阀体和第二阀体分别引出真空管道，分头连接到A真空室(1)和B真空室(1`)之上。
4.根据权利要求1或2所述的双室真空镀膜装置，其特征在于，所述的蒸发加热电源装置，由断路器(16)、接触器(17)、调压器(18)、变压器(19)，以及第一转换开关(15)和第二转换开关(20)所组成，当第一转换开关(15)接通时，电源对第一蒸发加热器(14)供电；当第二转换开关(20)接通时，电源对第二蒸发加热器(21)供电。
5.根据权利要求3所述的双室真空镀膜装置，其特征在于，所述的蒸发加热电源装置，由断路器(16)、接触器(17)、调压器(18)、变压器(19)，以及第一转换开关(15)和第二转换开关(20)所组成，当第一转换开关(15)接通时，电源对第一蒸发加热器(14)供电，当第二转换开关(20)接通时，电源对第二蒸发加热器(21)供电。
专利摘要一种双室真空镀膜装置，由一套真空获得设备组，一套蒸发加热电源装置，配置两台真空室而组成。其中真空获得设备组包括初级抽气真空泵组和深度抽气真空泵组，前者含一台真空泵和一台罗茨泵，通过旁通阀、真空阀和管道，分头连接到两台真空室上；后者含一台维持真空泵，一台罗茨泵和一台扩散泵，通过前置阀，连体真空阀等自成一路，也将两台真空室并联起来。真空室内均设置有蒸发加热器，由一套外置的包括断路器、接触器、调压器、变压器等电气设备的蒸发加热电源装置，通过两组转换开关交替地向其供电，在一台真空室镀膜时，另一台可进行卸真空，装卸工件等操作。或在一台真空室初级抽气时另一台真空可进行深度抽气。该装置节省了投资设备，较现有两台单室的镀膜装置节能30％，提高了产品质量，且大小不同的双室适应性广，可加工不同尺寸大小的工件，是一种升级换代产品，可广泛应用于各种真空镀膜设备。
文档编号C23C14/24GK2651263SQ03243370
公开日2004年10月27日 申请日期2003年3月26日 优先权日2003年3月26日
发明者苏贵方 申请人:苏贵方