技术编号：3412798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光伏太阳能电池，特别涉及一种低压化学气相沉积(LPCVD) 反应设备。背景技术随着能源的日益短缺，可再生绿色能源的开发利用越来越受到人们的关注，尤以 太阳能的利用特别受到世人的青睐。太阳能作为清洁、安全、可持续并且可靠的能源，太阳 能光伏(PV)系统正在迅速扩大其在能源和产业技术开发方面的应用。近年来，作为太阳能 转换媒介的光伏(photovoltaic)电池和大面积光伏模块器件的开发和应用引起了普遍关 注。以单晶硅、多晶硅、非晶硅薄膜等为代表的...
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