真空镀膜的线状掩膜具的制作方法技术资料下载

技术编号:3413243

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本实用新型是一种真空镀膜的线状掩膜具,适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条和金属薄膜电极的制备。背景技术在先技术中,吉林大学在申请号为00131360的专利申请中,提供一种真空镀膜的条状掩膜板.它的掩膜板上的掩膜条线是通过齿和刻槽固定的合金丝而形成的。并且,合金丝的两端焊在掩膜板背部附有焊锡的铁条上。这种掩膜板能够做到比较精细,分辨率达到3条线/mm。但,它还存在着不足的地方,一是形成掩膜条线的合金丝是用焊锡焊在铁条上而固定的。当掩膜板经过真空蒸镀使用过后,...
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