专利名称：真空镀膜的线状掩膜具的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种真空镀膜的线状掩膜具，适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条和金属薄膜电极的制备。
背景技术：
在先技术中，吉林大学在申请号为00131360的专利申请中，提供一种真空镀膜的条状掩膜板.它的掩膜板上的掩膜条线是通过齿和刻槽固定的合金丝而形成的。并且，合金丝的两端焊在掩膜板背部附有焊锡的铁条上。这种掩膜板能够做到比较精细，分辨率达到3条线/mm。但，它还存在着不足的地方，一是形成掩膜条线的合金丝是用焊锡焊在铁条上而固定的。当掩膜板经过真空蒸镀使用过后，掩膜扳上的合金丝有的就会有所松塌下来，因为两端是用焊锡焊死了，无法再使其绷紧绷直。也就无法再保证掩膜条线间最初的相互平行和固定等间距的要求。二是，由于制作上的问题，焊接合金丝比较麻烦，而且容易变形。
发明内容
本实用新型为了克服上述在先技术中的不足，提供一种随时可以绷紧绷直的单层弹性线构成掩膜线的掩膜具。本实用新型的这种掩膜具经过多次蒸镀使用，将永远能够保持线与线之间的相互平行和最初限定的等间距。保证多次使用后掩膜具的精度，提高掩膜具的使用效率和寿命。
本实用新型的掩膜具包含弹性线4，带有切口8的固定框架3，在固定框架3上相对平行的两框的外侧分别置放有结构、形状和大小完全相同的两个定位柱2、6。定位柱2、6上带有相互平行的等间距的定位槽2602和分布在两端的顶紧螺丝1。在固定框架3上还分布有固定螺钉5和压紧螺钉11。弹性线4通过两定位柱2、6上的定位槽2606定位缠绕成平直线组构成掩膜线7。如图1、2、3所示。
如上述的结构，绕成平直线组后的弹性线4的两端分别由固定螺钉5固定在固定框架3上.拧动分布在定位柱2、6两端的顶紧螺丝1，能够使平直线组中每条线都绷得又紧又平直，待镀衬底10连同压板9一起插入固定框架3的切口8内，通过压紧螺钉11顶紧压在待镀衬底10上的压板9上，使待镀衬底10的待镀表面紧紧地贴在掩膜线7上。掩膜具每次蒸镀使用过后，都可以调节固定螺钉5使弹性线4拉紧。同时可以调节顶紧螺丝1，使平直线组绷紧，使每条线都不再松塌，始终保持最初的平直平行的限定等间距的掩膜线7。
与在先技术相比，本实用新型的掩膜具由于包含带有定位槽2602和顶紧螺丝1的结构、形状和大小都相同的两个定位柱2、6。弹性线4通过两定位柱2、6上的定位槽2602定位绕成平直线组的掩膜线7，能够随时通过调节顶紧螺丝1使平直线组绷紧绷直。还可以调节固定螺钉5使弹性线4拉紧拉直。由于待镀衬底10是插入固定框架3的切口8内，所以，贴在待镀衬底10待镀表面上的掩膜线7是单层的平直线组，不会出现重叠重影的现象。总之，本实用新型的掩膜具是完全克服了在先技术中存在的掩膜条线用焊锡焊死不能调节的弊端。不仅提高了使用掩膜具蒸镀的精度和分辨率，同时，也大大提高了掩膜具的使用率和寿命。本实用新型的掩膜具用途广泛，既可以使用在蒸镀有机彩色薄膜上，也可以用在蒸镀金属薄膜的电极上等。
图1是本实用新型掩膜具的结构示意图。
图2是本实用新型掩膜具结构的顶视示意图。
图3是图2的A-A剖面视图。
具体实施方式
如上述图1、2、3所示的结构。
所说的固定框架3是长方形，或是方形。它可以由相对平行的两长框301和与长框301垂直的两平行的横框302构成。关键是带有切口8。两长框301的外侧是与定位柱2、6相匹配的圆弧305，圆弧305的中间部位有凹槽306。在长框301上(或是横框302)有与固定螺钉5相匹配的固定螺孔304(至少2个)。在固定框架3的横框302上有与压紧螺钉11相匹配的压紧螺孔303(至少4个)。
所说的弹性线4是具有高弹力的金属丝，或者是塑料丝。弹性线4的形状可以是普通的直径在0.03mm至1mm的圆丝，或者是厚度为0.03mm至0.5mm，宽度为0.03mm至1mm的扁线。
所说的结构、形状和大小完全相同的定位柱2、6置放在固定框架3相互平行的两长框301外侧与之相匹配的圆弧305内，顶紧螺丝1通过定位柱2、6上的顶紧螺孔2601恰好顶在长框301外侧圆弧305中间部位的凹槽306内。
所说的定位柱2、6上的相互平行的等间距的定位槽2602是刻槽，或者是螺纹。
当待镀衬底10连同压板9一起插入固定框架3的切口8内时，压紧螺钉11通过固定框架3横框302上的压紧螺孔303顶在压板9上，使压板9压紧待镀衬底10，从而使待镀衬底10的待镀表面能够紧贴在掩膜线7上。使蒸镀后的线条更清晰，更精细，分辨率更高。
权利要求1.一种真空镀膜的线状掩膜具，含有固定框架(3)和弹性线(4)，其特征在于固定框架(3)含有切口(8)，在固定框架(3)相对平行的两框外侧分别置有结构、形状和大小完全相同的两个定位柱(2、6)，定位柱(2、6)上带有相互平行的等间距的定位槽(2602)和分布在定位柱(2、6)两端的顶紧螺丝(1)，在固定框(3)上还分布有固定螺钉(5)和压紧螺钉(11)，弹性线(4)通过两定位柱(2、6)上的定位槽(2602)定位缠绕成平直线组构成掩膜线(7)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜的线状掩膜具，其特征在于所说的弹性线(4)是具有高弹力的金属丝，或者塑料丝。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜的线状掩膜具，其特征在于所说的弹性线(4)的形状是直径在0.03mm至1mm的圆丝，或者是厚度为0.03mm至0.5mm，宽度为0.03至1mm的扁线。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜的线状掩膜具，其特征在于所说的定位柱(2、6)上相互平行的等间距的定位槽(2602)是刻槽，或者是螺纹。
专利摘要一种真空镀膜的线状掩膜具，适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条和金属薄膜电极的制备。它主要含有带切口的固定框架，置放在固定框架相对平行两框外侧的带定位槽和顶紧螺丝的定位柱。弹性丝通过定位柱上定位槽的定位绕成平直线组构成掩膜线。掩膜线能够通过调节两端的固定螺钉使其拉紧拉直。能够随时调节顶紧螺丝使全部掩膜线绷紧绷直。本实用新型的掩膜具完全克服了在先技术中存在的掩膜线松塌后，不能再使其绷紧绷直等缺陷。提高了掩膜具的精度、使用率和寿命。
文档编号C23C14/04GK2627008SQ0325551
公开日2004年7月21日 申请日期2003年7月11日 优先权日2003年7月11日
发明者钟国柱, 张志林 申请人:上海航天上大欧德科技有限公司