专利名称：制作有机电致发光薄膜用的真空蒸发加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及制作有机电致发光(以下简称OEL)薄膜用的真空蒸发加热装置，它属于真空薄膜技术和发光显示的领域，特别涉及制作升华型OEL材料的薄膜，如制作8一羟基喹啉铝(以下简称Alq3)OEL薄膜用的真空蒸发加热装置。
OEL作为一种新型的平板显示技术，近来受到了人们的广泛关注，目前已经成为发光显示技术领域内最活跃的研究开发对象，在信息显示方面有着美好的发展前景和实用性。
通常，OEL显示器件是用真空镀膜法将不同种类的OEL材料，依次蒸镀成薄膜呈层状结构而成。
然而，在高真空的条件下加热OEL材料来使之蒸发，并在适当的基板上形成薄膜时，作为真空蒸发加热装置如采用普通的电阻加热蒸发舟和蒸发坩埚，某些升华型OEL材料，特别是Alq3在进行真空加热蒸发时，随着蒸发的进行，Alq3会发生跳跃和飞溅现象，部分Alq3会因此跳跃和飞溅出真空蒸发加热装置，这不仅污染了真空室，也严重影响了蒸发薄膜的成膜质量；在基板和真空蒸发加热装置的间距过近时，跳跃和飞溅出来的Alq3的微小颗粒会粘着在基板上，薄膜容易形成针孔，导致成品短路现象的产生。
本实用新型的目的在于提供制作OEL薄膜用的真空蒸发加热装置，采用这些装置，在真空加热蒸发升华型OEL材料时，可以防止因蒸发这类材料时引起的跳跃和飞溅现象，从而避免了蒸发时的跳跃和飞溅现象对真空室的污染，同时也避免了跳跃和飞溅出来的微小颗粒在基板上的粘着现象，保证了蒸发薄膜的成膜质量，提高了产品的成品率。
本实用新型的目的是通过下述方式来实现将待蒸发的升华型OEL材料加在真空蒸发加热装置的石英容器内，再继续加入多层的金属珠，金属珠可以是钢珠、钼珠、敷有金属膜的石英珠。其中的一种采用高频感应法加热金属珠；另一种利用金属珠本身的电阻通过施加电压来加热金属珠。这时只要调节高频电压或工频电压的电压值，使石英容器内的金属珠的温度上升，容器内的待蒸发的升华型OEL材料的温度也随之上升，达到它的蒸发温度时就开始蒸发，由于待蒸发升华型OEL材料的上面加了多层金属珠，在蒸发时又是从金属珠开始加热的，待蒸发的升华型OEL材料就难以形成跳跃和飞溅现象，即使有一些跳跃和飞溅，经过上面的多层金属珠的碰撞，金属珠的温度又高于待蒸发的升华型OEL材料的蒸发温度，在与金属珠的不断碰撞过程中会被气化，这样就避免了因待蒸发的升华型OEL材料的跳跃和飞溅，所引起的对真空室的污染和在基板上粘着微小颗粒的可能，从而极大地保证了蒸发薄膜的成膜质量和产品的成品率。
本实用新型结构紧凑，装配简单，操作容易。
以下结合附图之
图1和图2对本实用新型作进一步详细说明；附图之
图1和图2是本实用新型的二种结构示意图，其中1、1′-金属珠、2、2′-石英容器、3-高频感应线圈、3′-铜质电极、4、4′-待蒸发的升华型OEL材料、5-陶瓷线圈骨架和6-隔热材料。
实施例1参照附图之
图1，将0.5mm的多股漆包线挠在陶瓷线圈骨架(5)上，制成高频感应线圈(3)，再将石英容器(2)插入陶瓷线圈骨架(5)中，石英容器(2)和陶瓷线圈骨架(5)中间用隔热材料(6)填充，再将待蒸发的升华型OEL材料(4)小心装入石英容器(2)内。
将φ1mm的金属珠(1)经过去油后，再依次用丙酮、乙醇和去離子水超声清洗20分钟，烘干后装入石英容器(2)内的待蒸发的升华型OEL材料(4)上面，金属珠(1)的加入量以高度计为5～10mm。在1×10-4Pa量级的高真空度下进行蒸发。调节高频电源的电压，使金属珠(1)的温度上升到待蒸发的升华型OEL材料(4)的升华温度。由于蒸发时是从待蒸发的升华型OEL材料(4)的上面开始加热的，因此观察不到跳跃和飞溅现象。
实施例2参照附图之图2，将2根铜质电极(3′)插入石英容器(2′)内壁的二侧，再将待蒸发的升华型OEL材料(4′)小心装入石英容器(2′)内。
将φ1mm的金属珠(1′)经过去油后，再依次用丙酮、乙醇和去離子水超声清洗20分钟，烘干后装入石英容器(2′)内的待蒸发的升华型OEL材料(4′)上面，金属珠(1)的加入量以高度计为5～10mm。在1×10-4Pa量级的高真空度下，调节交流电源的电压，使金属珠(1′)的温度上升到待蒸发的升华型OEL材料(4′)的升华温度，蒸发时是从待蒸发的升华型OEL材料(4′)的上面开始加热的，因此观察不到跳跃和飞溅现象。
权利要求1.制作有机电致发光薄膜用的真空蒸发装置，其中的一种由金属珠(1)、石英坩埚(2)、高频感应线圈(3)、升华型OEL材料(4)、陶瓷线圈骨架(5)和隔热材料(6)构成，调节高频电源的电压进行真空加热蒸发；另一种由金属珠(1′)、石英坩埚(2′)、铜质电极(3′)和待蒸发的升华型OEL材料(4′)构成，调节工频电源的电压进行真空加热蒸发。其特征在于；①所说的金属珠(1、1′)采用φ1mm的钢珠、钼珠、或敷有金属膜的石英珠；②所说的金属珠(1、1′)是加在待蒸发的升华型OEL材料(4、4′)的上部的；③所说的高频感应线圈(3)是用φ0.5mm多股漆包线挠在陶瓷线圈骨架(5)上而成的。
2.跟据权利1所述的制作有机电致发光薄膜用的真空蒸发加热装置，其特征所说的金属珠(1、1′)是加在升华型OEL材料(4、4′)的上面，在蒸发时是从待蒸发的升华型OEL材料(4、4′)的上面开始加热的。
专利摘要本实用新型提供的真空蒸发加热装置属于真空薄膜技术和发光显示的领域，其中的一种由金属珠(1)、石英坩埚(2)、高频感应线圈(3)、升华型OEL材料(4)、陶瓷线圈骨架(5)和隔热材料(6)构成，采用高频感应加热蒸发；另一种由金属珠(1′)、石英坩埚(2′)、铜质电极(3′)和升华型OEL材料(4′)构成，采用交流工频电压加热蒸发。采用本实用新型提供的任何一种真空蒸发加热装置加热蒸发，均可以避免真空加热蒸发时升华型OEL材料(4)的跳跃和飞溅现象，从而防止了真空室的污染以及跳跃和飞溅出来的微小颗粒粘着在基板上的可能，保证了成膜质量和产品的成品率。
文档编号C23C14/24GK2632980SQ03255630
公开日2004年8月11日 申请日期2003年7月16日 优先权日2003年7月16日
发明者张志林, 叶如华, 王全坤 申请人:上海大学