专利名称：双面研磨精密磨削设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于研磨光学级蓝宝石晶体基片的双面研磨精密磨削设备。
背景技术：
以GaN为基的半导体材料用于制作发光二极管具有巨大的市场应用空间，由于没有与GaN晶格匹配的衬底材料，通常采用蓝宝石为衬底。目前国内光学级蓝宝石基片研制的一个主要问题是基片的加工，因为这种基片的外径和厚度之比是100∶0.5以下，正常常规之比是100∶10，尺寸是φ2″以上(φ2″≈φ50.80mm×0.43mm)，对设备和工艺的要求很高。现有的研磨光学级蓝宝石基片的设备绝大多数采用卧式结构，结构较复杂；特别是如果采用进口设备加工，由于设备本身价格高，必然会带来生产成本上升，而且设备结构复杂不利维护。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于研磨光学级蓝宝石晶体基片的双面研磨精密磨削设备，它不仅可以满足蓝宝石晶体基片的加工要求，而且结构简单、价格低，有效降低加工成本。
为解决上述技术问题，本实用新型所述的双面研磨精密磨削设备包括床身，在床身上安置的操纵控制站和气动装置，在床身的端面上安装的作相反方向转动的上、下研磨盘，以及附设的电气控制系统和研磨液泵，它还包括安装在床身端面其下端与安装在床身内的主轴变速箱连接的主轴，主轴的上端头安装一齿轮；在主轴外圈分两层分别设有与主轴同轴旋转的下研磨盘以及内齿圈；在下研磨盘上可设置一与主轴上端头齿轮和内齿圈啮合的既公转又自转的游星轮；在床身端面上位于操纵控制站附近安装一Г型悬臂，所述上研磨盘通过一滑杆且受气动装置控制可上下移动的与悬臂一侧端相枢设；在操纵控制站上设有用于控制研磨量和工件承载压力的数字显示设定开关；所述研磨液泵通过连接管与上研磨盘相通。
本实用新型的双面研磨精密磨削设备，上下研磨盘作相反方向转动、工件安装在游星轮内，因此工件在载体内既公转又自转的游星运动，磨削阻力小、不伤工件，而且两面均匀的磨削，生产效率高(一次可加工25片)。游星轮损伤小，损耗量较一般研磨机减少三分之二。游星轮自转方向可变更，从而实现自动修正上下研磨盘平面度误差。
本实用新型的结构简单，整机造价低，既可降低加工成本又便于维护。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1不包括上研磨盘和操纵控制站部分的俯视图。
具体实施方式
参看图1、2，一种双面研磨精密磨削设备，它包括床身1，在床身1上安置的操纵控制站2和气动装置3，在床身1的端面上安装的作相反方向转动的上、下研磨盘4、5，以及附设的电气控制系统(图中未示)和研磨液泵6。
本实用新型还包括安装在床身1端面其下端与安装在床身1内的主轴变速箱7连接的主轴8。所述主轴8的上端头安装一齿轮9，在主轴8外圈分两层分别设有与主轴8同轴旋转的下研磨盘5以及内齿圈10，在下研磨盘5上可设置一与主轴8上端头齿轮9和内齿圈10啮合的既公转又自转的游星轮11。游星轮11的端面设有多个与工件相配的孔，工件安装在游星轮11上的孔内，因此工件在载体内既公转又自转的游星运动，磨削阻力小、不伤工件，而且两面均匀的磨削，生产效率高(一次可加工25片)。游星轮11损伤小，损耗量较一般研磨机减少三分之二。游星轮11自转方向可变更，从而实现自动修正上下研磨盘4、5平面度误差。
在床身1端面上位于操纵控制站2附近安装一Г型悬臂12，上研磨盘4通过一滑杆13且受气动装置3控制可上下移动的与悬臂12的短臂端17相枢设。
在操纵控制站2上设有用于控制研磨量和工件承载压力的数字显示设定开关，控制工件承载压力的数字显示设定开关可分为轻压、中压、上研磨盘自重三种选择，根据研磨时工艺要求进行不同的设定。
所述下研磨盘5与安装在床身1内主轴变速箱7上端的可使其上下升降的升降机构(图中未示)连接。这样工件加工完时，可将下研磨盘5升起，将游星轮11卸开，拆掉工件十分方便。该升降机构可采用机械控制，也可采用气动控制。
所述上研磨盘4的上下两端面间设有多个贯通的孔，所述研磨液泵6通过连接管与上研磨盘4相通。当然也可在上研磨盘4的上端设置一承接研磨液的水盘14，该水盘14与所述上研磨盘4的孔通过连接管相通。
在床身1内安装一交流变频电机15，该变频电机15通过皮带拖动主轴变速箱7，实现电气无级调速。在床身1的侧端设有与主轴变速箱7连接的可实现二档机械变速的控制手柄16，这样机械与电气配合可实现工件加工需要的主轴8和下研磨盘5转速范围。
权利要求1.一种双面研磨精密磨削设备，它包括床身，在床身上安置的操纵控制站和气动装置，在床身的端面上安装的作相反方向转动的上、下研磨盘，以及附设的电气控制系统和研磨液泵，其特征在于它还包括安装在床身端面其下端与安装在床身内的主轴变速箱连接的主轴，所述主轴的上端头安装一齿轮，在主轴外圈分两层分别设有与主轴同轴旋转的下研磨盘以及内齿圈；在下研磨盘上可设置一与主轴上端头齿轮和内齿圈啮合的既公转又自转的游星轮；在床身端面上位于操纵控制站附近安装一Γ型悬臂，上研磨盘通过一滑杆且受气动装置控制可上下移动的与悬臂一侧端相枢设；在操纵控制站上设有用于控制研磨量和工件承载压力的数字显示设定开关；所述研磨液泵通过连接管与上研磨盘相通。
2.如权利要求1所述的双面研磨精密磨削设备，其特征在于所述下研磨盘与安装在床身内主轴变速箱上端的可使其上下升降的升降机构连接。
3.如权利要求1所述的双面研磨精密磨削设备，其特征在于所述上研磨盘的上下两端面间设有多个贯通的孔，上研磨盘的上端还设有一承接研磨液的水盘，该水盘与所述上研磨盘的孔通过连接管相通。
4.如权利要求1所述的双面研磨精密磨削设备，其特征在于在床身的侧端设有与主轴变速箱连接的可实现二档机械变速的控制手柄。
专利摘要本实用新型涉及一种双面研磨精密磨削设备，它包括床身、操纵控制站、气动装置、研磨液泵、电气控制系统，它还包括安装在床身端面其下端与安装在床身内的主轴变速箱连接的主轴，所述主轴的上端头安装一齿轮，在主轴外圈分两层分别设有与主轴同轴旋转的下研磨盘以及内齿圈；在下研磨盘上可设置一与主轴上端头齿轮和内齿圈啮合的既公转又自转的游星轮；上研磨盘通过一滑杆且受气动装置控制可上下移动的与安装在床身上一悬臂的一侧端相枢设。本实用新型结构简单、价格低，既便于维护又可降低加工成本，可用于研磨光学级蓝宝石晶体基片。
文档编号B24B37/04GK2640700SQ03255659
公开日2004年9月15日 申请日期2003年7月16日 优先权日2003年7月16日
发明者汪开庆 申请人:上海新华霞实业有限公司