技术编号：3413244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及制作有机电致发光(以下简称OEL)薄膜用的真空蒸发加热装置，它属于真空薄膜技术和发光显示的领域，特别涉及制作升华型OEL材料的薄膜，如制作8一羟基喹啉铝(以下简称Alq3)OEL薄膜用的真空蒸发加热装置。OEL作为一种新型的平板显示技术，近来受到了人们的广泛关注，目前已经成为发光显示内最活跃的研究开发对象，在信息显示方面有着美好的发展前景和实用性。通常，OEL显示器件是用真空镀膜法将不同种类的OEL材料，依次蒸镀成薄膜呈层状结构而成。然而，在...
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