技术编号:3413341
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光伏发电,涉及薄膜太阳能电池重要组成部分的开发研究工作,更具体的是一种新型多层膜结构的透明导电氧化物薄膜(TCO)及其制备方法。背景技术尽管晶硅电池还是目前光伏市场的主流产品,但是随着光伏发电技术的发展,薄膜太阳电池逐渐产业化,透明导电氧化物薄膜(TCO)作为薄膜太阳电池中必不可少的一部分,在高效率低成本的太阳能电池研究与生产中占有相当重要的地位。因为薄膜太阳电池的前电极采用的是透明导电氧化物(TCO)玻璃,它的性能对于电池的转换效率有着至关重要...
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