技术编号:3415244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种镀膜伞架。背景技术镜片放进真空的蒸镀(Vapor Deposition)装置进行蒸镀前容易附着灰尘,其中带电的灰尘可能会影响靶材离子 附着于镀膜表面,影响镀膜质量,而即使不带电的灰尘可能被所镀膜层覆盖,也影响镀膜质量。发明内容有鉴于此,有必要提供一种可提高镜片镀膜质量的镀膜伞架。ー种镀膜伞架,包括ー个本体及至少ー个离子风装置。该本体包括ー个第一表面及ー个背对该第一表面的第二表面,该本体具有多个贯穿该第一表面及该第二表面的容料通孔,各容料通孔用...
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