专利名称：镀膜伞架的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种镀膜伞架。
背景技术：
镜片放进真空的蒸镀(Vapor Deposition)装置进行蒸镀前容易附着灰尘,其中带电的灰尘可能会影响靶材离子 附着于镀膜表面，影响镀膜质量，而即使不带电的灰尘可能被所镀膜层覆盖，也影响镀膜质量。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种可提高镜片镀膜质量的镀膜伞架。ー种镀膜伞架，包括ー个本体及至少ー个离子风装置。该本体包括ー个第一表面及ー个背对该第一表面的第二表面，该本体具有多个贯穿该第一表面及该第二表面的容料通孔，各容料通孔用于收容ー个待镀エ件并具有一个容该待镀エ件进入该容料通孔的入ロ，该入口位于该第一表面。该至少ー个离子风装置设置在该本体背离该第二表面ー侧，并用于向背离该第二表面方向吹出离子风，以在该多个待镀エ件进入该多个入口前向该多个待镀エ件吹出离子风。与现有技术相比，本发明的镀膜伞架中该至少ー个离子风装置可除去待镀エ件上的灰尘及静电，从而提高镜片镀膜的质量。
图I为本发明较佳实施方式的镀膜伞架的结构示意图。图2为图I的镀膜伞架另ー个角度的结构示意图。图3为图I的镀膜伞架的遮罩容置于固定通孔内时的部分剖视图。主要元件符号说明 镀膜伞架11
待镀镜片22 待镀面2a 背面2b 支架10 底板100 固定通孔102 内壁104 容置孔106 安装孔142 立柱120 横柱140导轨160 本体20 第一表面20a 第二表面20b 容料通孔200 凸缘202 人口 204 遮罩30 凸起300 离子风装置40 驱动装置45 横向线性马达50 横向定子500 横向动子502 纵向线性马达60 纵向定子600 纵向动子602 导块604 导孔606 气缸70 缸体700 活塞杆702
如下具体实施方式
将结合上述附图进ー步说明本发明。
具体实施例方式请參考图I至图3，本发明较佳实施方式的镀膜伞架11用于盛放多个待镀镜片22。待镀镜片22包括一个需镀膜的待镀面2a及一个无需镀膜且背离待镀面2a的背面2b。镀膜伞架11包括一个支架10、ー个本体20、一个遮罩30、多个离子风装置40及一个驱动装置45。支架10呈长方体状,其包括一个底板100、四个立柱120、两个横柱140及两个导轨160。底板100呈方形，其中间开设有一个圆形的固定通孔102，底板100还具有ー个面向固定通孔102的内壁104。内壁104上开设有多个容置孔106，容置孔106呈圆柱形，其深度方向朝向固定通孔102的中心并且相对于内壁104傾斜。四个立柱120垂直连接至底板100的四个角落。各横柱140连接至支架10横向的相邻的两个立柱120远离底板100的ー侧，并且两个横柱140相对设置。各横柱140在面向另ー横柱140的表面上开设有两个圆形的安装孔142，且两个安装孔142位于横柱140的两端。各导轨160呈圆柱状且其直径略小于安装孔142的直径。本体20呈圆形且其直径略小于固定通孔102的直径。本体20包括ー个第一表面20a及一个背对第一表面20a的第二表面20b。本体20上开设有多个与待镀镜片22形状对应的容料通孔200。容料通孔200贯穿第一表面20a及第ニ表面20b。容料通孔200 —端自其内壁(图未标)垂直向外延伸出一圈凸缘202。容料通孔200未设置凸缘202的一端包括一个容待镀镜片22进入的入口 204。容料通孔200用于容置待镀镜片22并使待镀镜片22承靠在凸缘202上。遮罩30呈圆形且其直径略小于固定通孔102的直径。遮罩30的一个圆形表面上开设有多个凸起300，凸起300的形状与在该表面上的位置与容料通孔200靠近入ロ 204 —端的形状及容料通孔200在本体20上的位置对应。凸起300可容置于容料通孔200内，而且当凸起300容置于容料通孔200内时，凸起300与凸缘202之间的距离大于等于待镀镜片22的厚度，即大于待镀面2a与背面2b之间的距离。离子风装置40大致呈与容置孔106对应的圆柱形，用于产生并向外喷射离子风。在本实施方式中，离子风装置40为离子风嘴。驱动装置45包括ー个横向线性马达50、ー个纵向线性马达60及一个气缸70。横 向线性马达50包括ー个横向定子500及ー个横向动子502。横向定子500大致呈长条形且其长度大于两个横柱140之间的距离，横向动子502滑动设置在横向定子500上，并且可在横向定子500的驱动下沿横向定子500运动。纵向线性马达60包括一个纵向定子600、一个纵向动子602及两个导块604。纵向定子600大致呈长条形。纵向动子602滑动设置在纵向定子600上，并且可在纵向定子600驱动下而沿纵向定子600运动。各导块604上开设有一个圆柱形的导孔606。两个导块604连接至纵向定子600两端，并且两个导孔606的轴向均与纵向定子600移动的方向垂直。两个导孔606之间的距离等于同个横柱140上的两个安装孔142之间的距离。气缸70包括一个缸体700及一个自缸体700向外延伸的活塞杆702。活塞杆702可由缸体700驱动而靠近或远离缸体700。组装时，将本体20通过焊接等方式固定在固定通孔102中，并且容料通孔200的凸缘202较入ロ 204远离横柱140。同时,容置孔106位于本体20背离第二表面20b —侧。再将各离子风装置40设置在容置孔106中，并使各离子风装置40向背离第二表面20b的方向吹出离子风。通常第一表面20a到各离子风装置40的出风方向成5度至45度角。在本实施方式中，第一表面20a到各离子风装置40的出风方向成15度角。然后将横向定子500固定至两个横柱140的中间部位，并使横向动子502面向本体20。将横向动子502固定至纵向定子600的中间部位，并使纵向定子600面向本体20。再将两个导轨160分别插入两个导孔606中，将两个导轨160固定至对应的安装孔142。此时两个导轨160与横向定子500平行，纵向定子600与横向定子500垂直。将纵向动子602固定至缸体700远离活塞杆702的ー侧，并使得活塞杆702伸缩的方向与纵向定子600垂直。将活塞杆702垂直固定至遮罩30未设置凸起300的一面的中央。工作时，通常使支架10的底板100水平放置在一个镀膜装置(图未示)的镀膜腔内，并且第二表面20b面向祀材(图未不)。遮罩30位于一个不遮罩本体20的位置。开启离子风装置40，此时各离子风装置40相对第一表面20a倾斜向上15度向本体20的中心喷射出离子风。将待镀镜片22放置到容料通孔200中。放置过程中，待镀镜片22，尤其是待镀面2b受到离子风吹袭，其上的灰尘及静电被离子风吹走。待镀镜片22最終经过入口 204承靠在凸缘202上。横向线性马达50先驱动纵向线性马达60以带动驱动气缸70及遮罩30沿横向定子500方向移动至横向定子500中间，纵向线性马达60再驱动驱动气缸70及遮罩30沿纵向定子600方向移动至纵向定子600中间，此时遮罩30位于固定通孔102的正上方。气缸70再驱动遮罩30向下移动以覆盖第一表面20a。在这个过程中，遮罩30也受到离子风的吹袭而被除去其上的灰尘及静电。遮罩30最終移动至固定通孔102中，而且凸起300移动至容料通孔200中而覆盖待镀镜片22的背面2b。此时离子风装置40可以停止工作。然后，再对镀膜腔进行抽真空及镀膜。镀膜过程中，由于驱动遮罩30与固定通孔102相互匹配，靶材离子无法轻易进入固定通孔中。另外，由于凸起300与容料通孔200相互匹配，进入到固定通孔102中的 靶材离子更加无法轻易进入容料通孔200中去污染待镀镜片22的背面2b。可以理解，在设计整个镀膜装置(图未示)的时候，也可以将本体20及驱动装置45固定至镀膜装置的镀膜腔体的内壁，此时支架10便可不必设置。可以理解，设置在固定通孔102中的离子风装置40只要能朝背离第二表面20b的方向喷射离子风，以清洁待镀镜片22的待镀表面便可，其深度方向也可不必朝向固定通孔102的中心。可以理解，在容料通孔200可承靠待镀镜片22的情况下，其也可不必设置凸缘202。如，容料通孔呈倒置的台形，并且其上方开ロ大于待镀镜片22而下方开ロ小于待镀镜片22时，也可承靠待镀镜片22。可以理解，遮罩30也可由人工挟持，此时也可不必设置驱动装置45。最后，还应指出，镀膜伞架11也可用于盛放其它需镀膜的エ件，不限于本实施方式的待镀镜片22。本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。
权利要求
1.ー种镀膜伞架，包括 ー个本体，该本体包括ー个第一表面及ー个背对该第一表面的第二表面，该本体具有多个贯穿该第一表面及该第二表面的容料通孔，各容料通孔用于收容ー个待镀エ件并具有一个容该待镀エ件进入该容料通孔的入ロ，该入口位于该第一表面；及 至少ー个离子风装置，该至少ー个离子风装置设置在该本体背离该第二表面ー侧，并用于向背离该第二表面方向吹出离子风，以在该多个待镀エ件进入该多个入口前向该多个待镀エ件吹出尚子风。
2.如权利要求I所述的镀膜伞架，其特征在于，该第一表面到各离子风装置的出风方向成5度至45度角。
3.如权利要求I所述的镀膜伞架，其特征在于，该第一表面到各离子风装置的出风方向成15度角。
4.如权利要求I所述的镀膜伞架，其特征在于，该镀膜伞架还包括一个与该第一表面对应且相对于该第一表面移动设置的遮罩，该遮罩位于本体远离该第二表面ー侧，用于在该多个エ件进入该多个容料通孔后向该第一表面移动直至遮盖该第一表面。
5.如权利要求4所述的镀膜伞架，其特征在干，该遮罩包括多个凸起，该多个凸起的与该多个容料通孔的位置及形状对应，用于在该遮照遮盖该第一表面时封闭该多个容料通孔。
6.如权利要求4所述的镀膜伞架，其特征在干，该镀膜伞架还包括ー个支架，该支架包括ー个底板，该底板开设有一个与该本体对应的固定通孔，该本体收容于该固定通孔内。
7.如权利要求6所述的镀膜伞架，其特征在于，该底板还具有ー个面向该固定通孔的内壁，该内壁开设有至少ー个容置孔，该至少ー个容置孔位于该本体背离该第二表面ー侧，该至少ー个离子风装置设置在对应的容置孔中。
8.如权利要求6所述的镀膜伞架，其特征在干，该镀膜伞架还包括一个设置于该支架上的驱动装置，用于驱动该遮罩移动至该第一表面。
9.如权利要求8所述的镀膜伞架，其特征在干，该驱动装置包括ー个气缸，该气缸包括一个缸体及ー个活塞杆,该缸体设置在该遮罩远离该本体ー侧，该活塞杆由该缸体驱动并固定至该遮罩，该气缸用于驱动该遮罩在该本体的轴线方向上移动。
10.如权利要求9所述的镀膜伞架，其特征在干，该驱动装置还包括一个纵向线性马达，该纵向线性马达包括ー个纵向定子及ー个纵向动子，该纵向定子呈长条状，架设在该气缸远离该遮罩ー侧，该纵向动子滑动设置在该纵向定子上，并且可在该纵向定子的驱动下沿该纵向定子运动；该纵向动子还连接至该缸体，该纵向定子垂直于该活塞杆伸缩的方向。
11.如权利要求10所述的镀膜伞架，其特征在干，该驱动装置还包括ー个横向线性马达，该横向线性马达包括ー个横向定子及ー个横向动子，该横向定子呈长条状，架设在该纵向线性马达背离该纵向线性马达ー侧，该横向动子滑动设置在该横向定子上，并且可在该横向定子的驱动下沿该横向定子运动；横向动子还连接至该纵向定子，该横向定子垂直于该活塞杆伸缩的方向并且垂直于该纵向定子。
12.如权利要求11所述的镀膜伞架，其特征在于，该支架还包括四个立柱、两个横柱及两个导轨，该四个立柱均垂直固定至该底板的周围，该两个横柱相对设置并且分别固定至对应的两个立柱，各导轨连接至该两个横柱，该两个导轨设置在该横向定子的两侧并与该横向定子 平行；该纵向线性马达还包括两个固定在该纵向定子两端的导块，各导块连接至对应的一个导轨对应并可沿该导轨滑动。
全文摘要
一种镀膜伞架，包括一个本体及至少一个离子风装置。该本体包括一个第一表面及一个背对该第一表面的第二表面，该本体具有多个贯穿该第一表面及该第二表面的容料通孔，各容料通孔用于收容一个待镀工件并具有一个容该待镀工件进入该容料通孔的入口，该入口位于该第一表面。该至少一个离子风装置设置在该本体背离该第二表面一侧，并用于向背离该第二表面方向吹出离子风，以在该多个待镀工件进入该多个入口前向该多个待镀工件吹出离子风。如此，可提高工件镀膜的质量。
文档编号C23C14/22GK102828153SQ20111016202
公开日2012年12月19日 申请日期2011年6月16日 优先权日2011年6月16日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司