技术编号：34169852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体生产制造技术领域，具体涉及一种晶圆整理装置。背景技术.晶圆是生产集成电路所用的载体，是常用的半导体材料，每个晶圆都包含着一个基准面，此基准面为长边状，其余位置为圆形弧状，在晶圆使用和回收过程中，多个晶圆放置于一个花篮中要保证晶圆的基准面保持位置一致性，防止在清洗过程中造成晶圆碎裂或光刻过程中不识别的情况；.现有技术中，为使晶圆的基准面保持一致性，晶圆放在存放装置里进行手动调整，但晶圆较多，人工手动调整的所花时间较长。发明内容.鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。