技术编号：3417720
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于真空镀膜设备附件制造，涉及一种基片架，具体涉及一种用于真空镀膜设备的多功能基片架。背景技术真空镀膜设备中具有一个或多个基片安装架，用于固定需要镀膜的基片。光学薄膜是真空镀膜中的一种产品，镀制光学薄膜的设备较其他的真空镀膜设备相对较大，基片架的形状较大、个数较多。在镀制光学薄膜的过程中，需要根据基片的形状尺寸进行基片架的设计以满足镀膜要求，但是在实际的光学薄膜的研制和生产过程中，不同用户对最终光学薄膜基底的形状、厚度等尺寸的要求不尽相同，这就需要设...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。