一种金刚石刀具材料半导体改性的工艺技术资料下载

技术编号:34179915

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.本发明涉及金刚石合成技术领域,特指一种通过硼氢协同掺杂实现金刚石刀具材料半导体改性的工艺方法。背景技术.单晶金刚石凭借极高的硬度、耐磨性和导热性,极低的摩擦系数、热膨胀系数与化学活性,优异的刃磨性能被广泛应用于单点金刚石超精密车削中的刀具,随着金刚石人工合成技术的发展,尺寸大、质量稳定,生长过程可调节且成本相对较低的人工金刚石被应用于超精密加工刀具的比例越来越大。.切削温度对切削加工过程影响极大,切削温度会改变刀具与工件之间的接触状态,干扰加工表面尺寸及形状精度,加剧刀具磨损,因此切削温...
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