技术编号：3418891
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，属于硬质薄膜材料。 背景技术目前氮化物硬质薄膜作为刀具、刃具和模具的表面保护材料，已经在合成方法和制 备技术方面得到了多种具体成分和结构可调制的薄膜。从材料的设计而言，人们总是倾 向于成本更低、可工业化薄膜的开发，并在这一领域探索颇多。氮化物在可人工设计的材料中所具有的优点是很多的。首先是因为氮化物形成的化 学共价键导致其化学稳定性很高，因而其有很好的力学强度和超硬度。其次氮化物和一 般衬底材料之间的结合力很强，形成的薄膜不易脱落，工具使用寿命...
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