技术编号:3419570
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于透明导电薄膜,具体涉及一种多晶透明导电氧化物薄膜及其制备 方法。 背景技术透明导电氧化物(TCO)薄膜因具有金属的导电性和可见光范围的透明性,已经成为平 板显示、太阳能电池和透明电子器件中不可或缺的材料。掺锡氧化铟(ITO)是得到广泛 应用的透明导电氧化物薄膜。正因为如此,金属铟的消耗量非常之大,且有越来越大之趋 势。在过去的三年内,其价格翻了近十倍!由于金属铟的储量有限,能否满足日益扩大的 市场需求成为人们关注的焦点。因此,探索新型透明导电薄膜...
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