技术编号:3420588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基板载具,特别是涉及一种可以载运 进入溅镀室进行 溅镀加工的可防止绕镀的基板载具。背景技术在以往的溅镀领域中,为了将基板连续地送入真空溅镀设备的一溅镀室内接受观搬加工,通常是利用如图l、 2所示的鎌载具1艇用数鎌10,该繊载具l包括 一个承载板ll,以及数个将 10以可拆解方式架设在承载板11上的定位单元12,该承载板ii具有一个前端面ui、 一个和前端面m间隔的后端面112、 数个贯穿前、后端面m、 112的 架孔113,以及两个垂...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。