专利名称：可防止绕镀的基板载具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种基板载具，特别是涉及一种可以载运 进入溅镀室进行 溅镀加工的可防止绕镀的基板载具。
背景技术：
在以往的溅镀领域中，为了将基板连续地送入真空溅镀设备的一溅镀室内接受
观搬加工，通常是利用如图l、 2所示的鎌载具1艇用数鎌10，该繊载具l
包括 一个承载板ll，以及数个将 10以可拆解方式架设在承载板11上的定位
单元12，该承载板ii具有一个前端面ui、 一个和前端面m间隔的后端面112、 数个贯穿前、后端面m、 112的 架孔113，以及两个垂直连接在前、后端面iii、
112左右两侧的垂直接面114、 115，而所述定位单元12是分别邻 载板11的基 板架孔113,并且将基板10架设在承载板11上，架设后该基板10的一个加工面101 和承载板11的前端面111平齐。
当基板10架设在 载具1上，且 载具1连续iK入真空、M设备的一溅
镀室内进，TM加工时，鹏材料是沿着一个ilf度方向13往繊载具i的前端面m
、 ，以便让鄉莫材料附着在基板10的加工面101上。以往 载具1虽然可以载 运基板10连续ittAlil^接受M加工，但是在载运的过程中，由于承载板11 的垂直接面114、 U5是垂直于前端面m，因此，就算两片相邻的繊载具1很靠 近，仍会在彼此间产生一辨行于领搬方向13的间隙14。故当f鹏材半樹向该鎌 10的加工面101时，少许的 材料会经由该间隙14到皿载板11的后端面112， 最后绕附絲载板11的后端面112以及鎌10的一个背面102上，这种J嫁在溅 镀领域中被称为「绕镀现象」。这种「纖现象」由于^i上鄉莫材料不预期地附着在 繊10的背面102，因此，会影响到繊10的M品质，本实用新型就是针对前述 缺失加以改良。
实用新型内容
本实用新型的目的是在提供一种可以提高载运基板溅镀品质的可防止领楚度的基板载具。
本实用新型的基板载具是可供至少一片基板架设，并包括 一承载板，以及至 少一个将基板架设在承载板上的架设单元，该承载板包括一个供基板架设的基板架 设部。本实用新型的特征在于该承载板还包括两个自基板架设部往相反侧突出 的防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一个行进方向移送时，和另一块基板载 具上相邻的防绕部重叠。
本实用新型的有益功效在于借在 载具的承载板上设置两个位在相反侧的 防绕部，以及让防绕部可以和相邻基板载具的防绕部重叠的设计，可以在基板载具 载运繊进入溅镀室时，防止镀膜材料由两±央基板载具间的间隙绕到基板背面并附 着在背面上，借此达到提高载运 溅镀品质的目的。
图1是一种以往SM载具的前视图，图中并显示数片 安装在该 载具上
的情况；
图2是该以往 载具的一俯视剖视参考图3是本实用新型 载具的第一较佳实施例的立体图4是该第一较佳实施例的一俯丰见图5是该第一较佳实施例的—柳状态参考图，显示在4顿时两± ^载具的 对应关系；及
图6是一类似图5的j顿状态参考图，显示本新型鎌载具的第二较佳实施例。
具体实航式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明
参阅图3、4，本实用新型 载具2的第一较佳实施例是可供数片基板20架设， 戶，基板20具有一个朝前的加工面201，以及一个和加工面201间隔的背面202。 本实施例的 载具2包括 一个承载板3，以及数个将基板20以可取下的方式安 装在承载板3上的架设单元21 。
该承载板3包括一个可供基板20架设的 架设部31，以及自 架设部31 突出的一第一防绕部32、 一第二防绕部33，，防绕部32、 33 ，在基板架设部 31的相反侧。本实施例的 架设部31具有一个前端面311、 一个后端面312，以及数个贯 穿该前端面311及后端面312的 架孔313，而戶，架设单元21是安装在 架 设部31上并邻近齡 架孔313，功用在于供 20以可取下的方式安装在 架孔313处，由于本实用新型的改良和前述架设单元21的设计无关，不再说明。
本实施例的第一防绕部32位在 架设部31的左侧，具有一个和前端面311 水平衔接的前延伸面321 、 一个由后端面312往前垂自伸的第一段差面322、 一个 自前延伸面321往后垂直延伸的第一侧面323，以及一个衔接在该第一段差面322 及第一侧面323之间的第一接面324，，一接面324是由第一侧面323逐^fi也往第 一段差面322倾斜，也就是说，本实施例第一防绕部32的最大厚度Wl是 架设 部31厚度W2的一半，而且第一防绕部32的厚度是由,第一侧面323 —端逐渐 地《主第一段差面322扩增。该第二防绕部33是位在 架设部31的右侧，具有一 个和繊架设部31的后端面312水平離的后延伸面331、 一个自前端面311往后 垂直延伸的第二段差面332、 一个自后延伸面331往前垂直延伸的第二侧面333，以 及一个衔接在第二體面332及第二侧面333间的第二接面334，战第二防绕部 33的最大厚度W3也是 架设部31的二分的一，而且该第二防绕部33的厚度是 由第二侧面333逐ffi也往第二段差面332扩增。
参阅图3、 5，本实施例的繊载具2招顿时，同样供数片 20架设，并沿 着一t 3S方向22将架设的 20由IW^的一入口端往一出口端移送，而,II莫材 料是沿着一M方向23 M到鎌20的加工面201，由于、ai度加工魏续制程，故 在移送的过程中 载具2是连续地被送入溅镀室。由于本实施例的基板载具2在 载运 20前进的过程中，前一±^ 载具2的第二防绕部33会和下一± ^载 具2'的第一防绕部32重叠，因此，当镀膜材料、 &^ 方向23射向 20的加工 面201时，虽然两±央相邻的 载具2间仍有间隙，但M"在间隙周缘的f鹏材料 只会附着在第一防绕部32的前延伸面321,以及第二防绕部33的第二接面334上， 也,就是说，受到重叠的第一防绕部32及第二防绕部33的阻挡， 材料不会绕到 Sfe载具2的后面，当然也不会因此附着在繊20的背面202上，故本实施例该基 板载具2的设计，确实具有防止纖的功效，并可维持载运,20较佳的鹏品质。
参阅图6，本实用新型基板载具2的第二较佳实施例的构造大致和第一实施例相
同，而包括一承载板3以及至少一个架设单元(图未示)，戶; ^载板3也是包括一个
架设部31、 一第一防绕部32及一第二防绕部33。本实施例和第一实施例的差
5别在于该第一防绕部32具有一个和基板架设部31接续的前延伸面321、 一个由前 延伸面321往后垂舰伸的第一侧面323，以及一个由第一侧面323往后端面312 倾余斗的第一接面324，而该第二防绕部33具有一后延伸面331、 一个由后延伸面331 往前延伸的第二侧面333，以及一倾斜连接在第二侧面333及前端面311间的第二接 面334。借由改变该承载板3的第一防绕部32与第二防绕部33的构造，同样可以达 到卩方止绕镀现象，以及提高载运基板20的溅镀品质等等的功效。
权利要求1.一种可防止绕镀的基板载具，可供至少一片基板架设，包括一个承载板，以及至少一个将所述基板架设在承载板的一个基板架设部上的架设单元；其特征在于该承载板还包括位在该基板架设部的相反侧的一第一防绕部、一第二防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一行进方向移送时，和另一块基板载具上的防绕部重叠。
2. 如权禾腰求l"腿可防止绕镀的,载具，其特征在于该第一及第二防绕部的 最大厚度总和小于或等于,架设部的厚度。
3. 如权利要求1或2所述可防止绕镀的基板载具，其f寺征在于该基板架设部具有 一个前端面，以及一个和前端面间隔的后端面，而该第一防绕部具有一个和前 端面接续的前延伸面、 一个由前延伸面往后延伸的第一侧面，以及一个由第一 侧面后端往基板架设部的后端面延伸的第一接面，而该第二防绕部具有一个和 后端面接续的后延伸面、 一个由后延伸面往前延伸的第二侧面，以及一个由第 二侧面往 架设部的前端面延伸的第二接面。
4. 如权禾腰彩戶腿可防止纖的繊载具，其特征在于该第一防绕部还具有一 个连接在第一接面及基板架设部的后端面间的第一段差面，而该第二防绕部还 具有一个连接在第二接面及 架设部的前端面间的第二自面。
专利摘要本实用新型公开了一种可防止绕镀的基板载具，可供至少一片基板架设，包括一个承载板，以及至少一个将基板架设在承载板上的架设单元，该承载板包括一个供基板架设的基板架设部。本实用新型的特征在于该承载板还包括两个自基板架设部往相反侧突出的防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一行进方向移送时，和另一块基板载具上相邻的防绕部重叠。借此可在基板载具载运基板进入溅镀室时，防止镀膜材料由两块基板载具间的间隙绕到基板背面并附着在背面上，以达到提高载运基板溅镀品质的目的。
文档编号C23C14/24GK201158703SQ20082000610
公开日2008年12月3日 申请日期2008年2月3日 优先权日2008年2月3日
发明者郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司