专利名称：基板载具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种基板载具，特别是涉及一种可供数片 架设，并将基板 一起送入加工机内进行加工的基板载具。
背景技术：
以往连续式真空、 1度设备为了达到连续加工的目的，通常是禾,一种如图l、 2 的基板载具1来载运 10。 ±^ 载具1包括一片矩形的承载板11，以及数个 数量和载运鎌10相同的定位单元12。该承载板11具有一个朝向观楚度设备的第一 面lll、 一个和第一面111间隔的第二面112，以及数个贯穿第一及第二面lll、 112 且各别界定出一个穿孔113的孔界定面114，旨 L界定面114都具有一环往中央突 出并邻近第二面112的M突环115，而戶脱定位单元12都包括数片贴靠在承载板 11的第一面lll的定位片121，以及数支将定位片121安装在承载板ll上的螺丝122， 上述定位片121具有一个往穿孔113突出的定位部123。
组装时先将鎌10摆放絲繊11的穿孔113处，摆放后该 10的一个背 面会贴靠在,M突环115的前方，而该基扳10的一加工面是和承载板11的第一面 111平齐，然后以螺丝122将定位片121安^^载板11上，安装后臓定位片121 的定位部123会往基板10突出，并因此将基板10架设在该承载板11上。
以往 载具1以螺丝122 板10以可拆解的方式安g载板11上的设计， 虽然具有架设基板10的功能，但在使用时却具有下述缺失
一、 以往 载具1在组皿取下基板10的作iL匕必需多次的螺转螺丝122， 故在组装及拆解繊10的操作上很麻烦。
二、 以往繊载具1是以定位单元12将鎌10安驗承载板11上，在安装后 戶皿定位片121会一起随着基板10送入 ^室进行、 加工，在接受Mf度加工时， 虽然職度的区域是以繊10为主，但由于定位片121需要压抵定位鎌10并且很 離鎌IO，因此，在 时 材料难免会附着在定位片121及螺丝122上，这 些附着有MI度材料的定位片121由于需要重复再使用，且在使用时各定位片121会 直接压靠在基板10的加工面上，因此，当定位片121上的溅镀材料沾黏在下一片基
板10的加工面上时，^g成基板10洁净度的下降，这样对于 10的溅镀品质多
少会有影响。
三、以往繊载具1的唯一功能Ji^载繊10，也就是^^载具1缺乏辨识性， 因此，当鎌10需要经过多次加工时，操作人员往往无法由S^载具1外观辨识出 架设其上的基板10的加工状况，造皿验及辨别上的不方便。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是在,一种组卸皿方便、快速，并可防止载运的基 板受到污染的 载具。
本实用新型的次要目的是在,一种具有辨识功能的 载具。
本实用新型的皿载具，用来承载至少一片基板，包括 一片承载板，以及一
个第一夹持单元，该承载板包括一第一面、 一第二面，以及一个贯穿第一及第二面 并界定出一第一穿孔的孔界定面。
本实用新型的特征在于该第一夹持单元包括一个安装在第一穿 L上缘处并用 来夹持基板顶缘的弹扣件，以及一个安装在第一穿孔下缘处并用来承载鎌的承载 件，而该鎌载具还包括一个安装在承载板上并用 盖所述第一夹持单元的挡板单元。
而本实用新型的次要特征在于该承载板还包括数个贯穿第一面及第二面的辨 识孔，又该皿载具还包括数个可取下地安装在所述辨识 L上的辨识件。 本实用新型的有益功效在于借弹扣件及承载件来架设基板，可以达到组M取下 基板简单的功效，而借挡板单元的设计，可以避免夹持单元受到,材料污染后再 度污染下一片载运的基板，本实用新型的辨识孔及辨识件的设计，可以使基板的加 工情况及检验更容易掌握。
图1是一种以往皿载具的正视参考图2是沿图1中2-2线所取的一组合剖视图3是本实用新型繊载具的一较佳实施例的立体分解参考图4是该较佳实施例的一局部组合剖视图5是该较佳实施例的一局部立体放大图，主要显示该 载具的一弹扣件 图6是，佳实施例的另一局部立体放大图，主要显示该,载具的一承载件;
及
图7是该较佳实施例的又一局部立体放大图，主要显示该 载具的一辨识单元。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明
参阅图3、 4、 5，本实用新型基板载具的一较佳实施例是可供数片基板2以可拆 卸的方式安装，图3中显示的基板2数量为6个，而该 载具包括 一片矩形的 承载板3，上述承载板3包括-一个第一面31、 一个和第一面31间隔的第二面32、三 个左右间隔并贯穿第一及第二面31、 32且各别界定出一个第一穿孔33的孔界定面 34、三个左右间隔并贯穿第一及第二面31、 32且各别界定出一个第二穿孔35的孔 界定面，以及数个贯通第一及第二面31、 32并位在板体右下角的辨识孔36，其中第 二穿孔35都位在第一穿孔33的正下方。
又本实施例的第一面31具有3个分别位在第一穿孔33中^i:方的第一凹部 311、六个位在第一穿孔33下方的第二凹部312、三个位在第二穿孔35上缘处的第 三凹部313、六个位在第二穿孔35下方的第四凹部314，以及数个分别位在第一及 第二穿孔33、 35左右两侧的手伸凹缘315 ，所述凹部311~314都邻近第一或第二穿 孑L33、 35。
本实施例的 载具还包括三个对应第一穿孔33的第一夹持单元4、三个对应 第二穿孔35的第二夹持单元4，、 一个可拆解地安^ 载板3的第一面31上并用 彩逸闭夹持单元4、 4'的挡板单元5，以及一个辨识单元6。
本实施例的每个第一夹持单元4都包括 一个弹扣件41、 一支将弹扣件41以可 拆解方式安驗第一凹部3U内的第一螺丝42、两个承载件43，以及数支分别将承 载件43以可拆解方式安装在第二凹部312内的第二螺丝44。该弹扣件41具有一片 贴靠在第一凹部311内并供第一螺丝42穿过的固定部411、 一片由固定部411底缘 往前延伸的固连部412、 一片由固连部412的一端往下倾斜的弹连部413，以及一个 由弹连部413末端往第一穿孔33延伸的弹夹部414，所述弹夹部414具有两片前后 间隔的弹片415，以及一个介于弹片415间且开口朝下的夹槽416。
参阅图3、 4、 6，本实施例的承载件43具有一片贴靠在第二凹部312内并供第 二纟累丝44穿过的固定部431，以及一个由固定部431顶缘往第一穿孔33方向突出的承载部432，上述承载部432具有一个开口朝上的承载槽434。本实施例的第二夹J寺 单元4'是组装在承载板3的第三及第四凹部313、 314内，但其构造和第一夹持单元 4木目同，不再赘述。
本实施例的挡板单元5包括三片遮盖承载板3的第一凹部311的第一挡板51、 三片遮盖承载板3的第二及第三凹部312、 313的第二挡板52、三片遮盖承载板3 的第四凹部314的第三挡板53，以及数支将挡板51、 52、 53以可拆解方式安装在承 载板3的第一面31上的第三螺丝54。所述第一挡板51位在第一穿孔33的上方，第 二挡板52是位在第一及第二穿孔33、 35间。上述第三挡板53是位在第二穿孔35 的下缘。
参阅图3、 7，本实施例的辨识单元6是包括数个可取下地插设在承载板3的辨 识孑L36处的辨识件61，借由辨识件61插设在不同辨识孔36内，可以达到区别Sfe 载具的目的。也就是说，本实施例的基板载具可以和一台辨识机配合，利用光线是 否可以穿透辨识孔36以及穿过辨识孔36的位置的不同，皿到辨识基板2编号的 目的。
参阅图3、 4、 6，本实施例的鎌载絲!顿时，先在第一及第三凹部311、 313 处^>别安装一个弹扣件41，在各个第二及第四凹部312、 314处分别组装一个承载件 43，组装后各个弹扣件41的夹槽415会朝下，而承载件43的承载槽434会朝上， 并且和夹槽415上下对应。然后利用第三螺丝54将各片挡板51、 52、 53安装在凹 部311~314的前方，就完成组合。而该等辨识4牛61是依预备加工基阪2的加工情况 选择地插设在预定的辨识孔36上。当繊2要组装在離载具上时，先将鎌2由 下往上地先夹套在弹扣件41的夹槽416后，再利用 2将弹扣件41 ^±推，并 使基板2的底缘靠放在承载件43的承载槽434内，就完成基板2的组装作业。
当本实施例的 载具承 [片基板2并往M^移送，以接受 加工时， 、a^虔材料是纟操载板3的第一面31溅射，并附着在 2前方的加工面上，加工后 操i乍人员的手指可由位在第一及第二穿孔33、 35两侧的手伸凹缘315伸到基板2的 背面，就可以方便地将基板2取下。
由以上说明可知，本实用新型该基板载具的设计确实具有以下功效
一、本实用新型的 载具在〗吏用时，由于是以弹扣件41 ^载件43来夹持 基板2，故在安装及取下基板2的操作上较以往基板载具简单、快速。
二本实施例的 载具在载运基板2进入iM室后，虽然位在基板2周缘的 元件者阿能沾到^l度材料，但会沾到 材料的元件是遮挡在各夹持单元4、 4'航 的挡板51~53。前述挡板51~53由于在 载具重复使用的过禾呈中并不会和基板2 接触，而和基板2会有接触关系的弹扣件41及承载件43则是受到所述挡板51~53 的保护不易沾附溅镀材料，因此，本实用新型在重复使用时，可以避免Mf度材料污 染载运的基板2，以确保载运基板2的洁净度及加工品质。
三、本实用新型在承载板3上设置辨识 L36，并配合辨识单元6的设计，可以 根据基板2加工状态在 载具上设置辨识记号，使得基板2在加工过程能够轻易 地對辛识加工情况，同时也具有检验方便的功效。
权利要求1.一种基板载具，用来承载至少一片基板，包括一片承载板，以及一个第一夹持单元，该承载板包括一第一面、一第二面，以及一个贯穿第一及第二面并界定出一第一穿孔的孔界定面；其特征在于该第一夹持单元包括一个安装在第一穿孔上缘处并用来夹持基板顶缘的弹扣件，以及一个安装在第一穿孔下缘处并用来承载基板的承载件，而该基板载具还包括一个安装在承载板上并用来遮盖所述第一夹持单元的挡板单元。
2. 如权禾腰求l戶诚的,载具，其特征在于该弹扣件具有一个借一第一螺丝固 定地安装在承载板上的固定部、 一个和固定部连接的固连部、 一个和固连部连 接并往第一穿孔方向延伸的弹连部，以及一个和弹连部接连并形成一夹槽的弹 夹部。
3. 如权利要求1或2所述的,载具，其特征在于该承载件具有一个借一第二螺 丝固定在承载板的第一面上的固定部，以及一个具有一供基板底缘架设的承载 槽的承载部。
4. 如权利要彩戶诚的,载具，其特征在于该承载板的第一面上具有一个对应 该弹扣件的第一凹部，以及一个对应承载件的第二凹部。
5. 如权利要求4戶诚的鎌载具，其特征在于该挡板单元包括一片遮盖该第一凹 部的第一挡板，以及一片皿承载板的第二凹部的第二挡板。
6. 如权利要求1所述的 载具，，征在于 载板的第一面上具有两个分别 位在第一穿 L^右两侦啲手伸凹缘。
7. 如权利要求1戶诚的M载具，其特征在于该承,还具有一个界定出一第二 穿孔的孔界定面，上述第二穿孔位在第一穿孔的下方，而该承载板的第一面具有一个位在第一穿 Lh缘处的第一凹部、 一个位在第一穿 L下缘处的第二凹部、一个位在第二穿孔的上缘处的第三凹部，以及两个位在第二穿孔的下缘处的第 四凹部，又该基板载具还包括一个第二夹持单元，上述第二夹持单元包括一个 安装在第三凹部内的弹扣件，以及两个安装在第四凹部内的承载件，而该挡板 单元包括一片遮盖该第一凹部的第一挡板、 一片遮盖第二及第三凹部的第二挡 板，以及一片遮盖第四凹部的第三挡板。
8. 如权利要求1或7所述的基板载具，其f寺征在于该承载板还包括数个贯穿第一 面及第二面的辨识孔，又该基板载具还包括至少一个可组M拆卸地安装在所 述辨识上的辨识件.
专利摘要本实用新型公开了一种基板载具，可供数片基板架设，该基板载具包括一承载板，该承载板包括一第一面、一第二面，以及数个贯穿第一及第二面并界定出一穿孔的孔界定面；而该基板载具还包括数量和穿孔相同的夹持单元，以及一个安装在承载板上并遮闭夹持单元的挡板单元，每个夹持单元都包括一安装在承载板上并位在穿孔上缘处的弹扣件，以及一个安装在承载板上并位在穿孔下缘处的承载件。借弹扣件及承载件来架设基板，可以让基板在组装及取下时更为方便，而借挡板单元设计，可以避免夹持单元沾附溅镀材料后污染下一片载运的基板，以确保基板的洁净度。
文档编号C23C14/50GK201186950SQ20082000610
公开日2009年1月28日 申请日期2008年2月3日 优先权日2008年2月3日
发明者郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司