技术编号:3421644
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米技术,特别是指一种利用荷能团簇对扫描探针显微镜悬臂及悬臂针尖沉积一层超薄薄膜的方法。2.导电薄膜的化学稳定性要好,且针尖表面氧化层厚度尽可能小。3.针尖与样品表面有很好的欧姆接触。4.导电薄膜的厚度(<20nm)要小,使得针尖上保持较大的曲率(>30nm)。目前导电薄膜材料主要有W2C,TiN,TiO,Pt,W,Cr,以及Cr/Au双层膜等。制备方法有溅射、化学气相沉积以及等离子体增强沉积等。例如Mikro-Masch公司是使用脉冲等离子沉积...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。