技术编号：3421980
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。加工研磨硅片载体的专用模具本实用新型涉及一种加工模具，尤其是属于一种配置在压力机上，用于加 工研磨硅片载体的专用模具。背景技术承载硅片研磨载体(也称游星轮、载体板)，是携带硅片在磨盘上进行公转 和自转的齿轮。载体结构呈圆形，其上、下两面为平面，外轮廓上设有齿件， 中部开有多个用于放置被磨硅片的放片孔。使用时，多片研磨载体环布在研磨 机的下磨盘上，载体齿件分别与下磨盘中部、外围的内、外齿轮的齿形壁啮合。 运动过程中，在内、外齿形壁的正、反向驱动下，以及上、下...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。