技术编号：3422364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空装置，特别是指一种模组式溅镀 用真空装置。背景技术一般溅镀用真空装置大致包括一个固定于地面的底座，及 一个置放于底座上的溅镀用真空腔体，目前真空装置的安装方 式，是先在预定地点架设该底座，然后再将真空腔体置放固定 于底座上，但是上述真空装置安装后，由于真空腔体体型都相 当大且笨重，且无法通过推移底座来调移真空腔体，所以当要 调移真空装置时，势必得再次将真空腔体先拆离底座，并将固 定于地面的底座调移定位后，再将真空腔体置放固定于底座上，...
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