专利名称：模组式真空装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空装置，特别是指一种模组式溅镀 用真空装置。
背景技术：
一般溅镀用真空装置大致包括一个固定于地面的底座，及 一个置放于底座上的溅镀用真空腔体，目前真空装置的安装方 式，是先在预定地点架设该底座，然后再将真空腔体置放固定 于底座上，但是上述真空装置安装后，由于真空腔体体型都相 当大且笨重，且无法通过推移底座来调移真空腔体，所以当要 调移真空装置时，势必得再次将真空腔体先拆离底座，并将固 定于地面的底座调移定位后，再将真空腔体置放固定于底座上， 相当不便。
再加上目前溅镀用真空装置于送交客户前，通常得在生产 厂房内先行安装测试后，才能将真空装置拆解运送给客户，并 于客户端再次进行安装测试，所以整个真空装置自生产厂房至 客户端间的搬运安装会相当麻烦且费时。
实用新型内容
本实用新型的目的是在提供一种方便搬移安装的模组式真 空装置。
本实用新型模组式真空装置，包括一个机架、 一个安装固 定于机架上的真空腔体及多个固定于机架上的轮座单元。轮座 单元分别包括一个安装固定于机架底面的固定座，及一个可枢 转滚动地枢设于固定座中且往下突伸出固定座外的滚轮。
本实用新型所述的模组式真空装置，该机架包括一个环状 的底座、多个左右间隔对称地安装固定于该底座的顶面的定位 块、二个左右间隔地固定于该底座上且间隔位于所述定位块后 方的连结臂，及二个左右间隔且斜上往后延伸地分别固接于所 述连结臂与该底座间的顶撑臂，该真空腔体以其底面往下跨接 固定于所述定位块上，并以其后侧面往后^夸4氐固定于所述连结 臂。
本实用新型所述的模组式真空装置，所述定位块分别具有 一个前高后低的倾斜状第一定位面，所述连结臂分别具有一个 自该底座斜上往前倾斜延伸的延伸段，及一个自该延伸段顶端 弯折往前延伸的连结段，且该连结段具有一个斜上往后倾斜延 伸的第二定位面，该真空腔体呈往后上方倾斜延伸状，且以其 底面倾斜靠抵固定于所述第 一 定位面，而以其后侧面倾斜靠抵 固定于所述第二定位面上。
本实用新型所述的模组式真空装置，所述顶撑臂固接于所 述延伸段与该底座间。
本实用新型所述的模组式真空装置，该底座具有二个左右 间隔且前后延伸的安装杆，所述轮座单元分别设置于安装杆的 前端部、后端部下方，且每一个專仑座单元还包括多个往下贯穿 螺接于相对应的安装杆与固定座间的悬吊固定螺丝，及多个螺 接穿设于所述安装杆并往下顶抵于该固定座的顶面且可被调转 而驱使所述安装杆相对固定座该上下位移的高度微调螺丝。
本实用新型的有益效果在于通过将该真空腔体安装固定 于机架上，且于该机架底部安装轮座单元的模组式结构设计， 使得该真空装置安装后，可直接通过推动机架的方式，方便调 移真空装置，且此模组化结构设计，可省去事先安装测试后再 拆解，然后再于客户端重新安装的步骤，相当方便实用。
图l是本实用新型模组式真空装置的 一个实施例的立体图2是该实施例的左侧视图3是该实施例的局部前侧视放大图4是图l的局部立体放大图5是该实施例的右侧视局部放大图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。 如图1至图3所示，本实用新型模组式真空装置的实施例包
括一个机架3、 一个安装固定于机架3上的溅镀用真空腔体4，及
四个分别安装固定机架3底面的轮座单元5。
该机架3包括一个环状的底座31、四个间隔对称地分别安装
固定于底座31顶面的定位块32、 二个左右间隔地固4妄于底座31
上的连结臂33,及二个分别安装固定于底座31与所述连结臂33
间的顶撑臂34。
该底座31具有二个左右间隔且前后延伸的安装杆311，所述 定位块32前后左右间隔对称地分别安装固定于安装杆311前半 段顶面，且前方定位块32的高度高于相对后方的定位块32的高 度，每一个定位块32具有一个前高后低的倾斜状第一定位面 320，且前后间隔的两定位块32的第一定位面320位于同一条倾 斜延伸线300上。
所述连结臂33左右间隔地安装固定于安装杆311后端部，且 分别具有一个自安装杆311斜上往前倾斜延伸的延伸段331，及 一个自延伸段331顶端往前弯折延伸的连结段332,且该连结段 332且具有一个往后上方倾斜延伸的第二定位面330。所述顶撑 臂34倾斜地分别固接于连结臂33的延伸段331与安装杆311中间
部位间。
该真空腔体4以其底面i 争抵固定于定位块32的第 一定位面 320上，并以其后侧面往后跨抵固定于连结臂33的第二定位面 330上，而斜上往后倾斜延伸地安装固定于机架3上。由于该真 空腔体4的结构与功用并非本实用新型的改良重点，因此不再详述。
如图3至图5所示，4仑座单元5前后左右间隔对称地分别安装 固定于安装杆311前、后端部底面，每一个轮座单元5包括一个 设置于安装杆311下方且开口朝下的中空的固定座51、 一个枢设 于固定座51中且局部往下突伸外露于固定座51外的滚轮52 (该 滚轮52的一侧边突出有较轮径大的凸缘)、多个穿设螺接于安装 杆311与固定座51间而使固定座51悬吊固定于安装杆311下方的 悬吊固定螺丝53,及多个分别螺接穿设于安装杆311上并往下顶 抵于固定座51顶面的高度微调螺丝54。
当该真空装置安装完成后，前、后间隔的轮座单元5分别以 其滚轮52靠抵于左右延伸的轨条200上，而可通过直接推动该机 架3，来驱使机架3下方的滚轮52沿轨条200枢转滚动，进而使该 机架3可带动真空腔体4左右位移。另外，还可通过调转轮座单 元5上的高度微调螺丝54,驱使高度微调螺丝54分别往下顶抵于 固定座51顶面，连动使供该微调螺丝54穿设的安装杆311区段相 对固定座51往上位移，进而相对改变该底座3分别装设轮座单元 5的四个角落部位的水平高度，进而可相对微调真空腔体4的水 平角度。在本实施例中，高度微调螺丝的微调高度距离小于 20mm,但是实施时不以此为限。
综观上述，通过将该真空腔体4安装固定于机架3上，且于 该机架3底部安装固定轮座单元5的模组式结构设计，使得该真 空装置于生产厂房安装测试后，可通过直接推动机架3的方式，
驱使靠抵于轨条200的滚轮52滚动，方便将整个真空装置推移至 待运输工具乘载处，并可直接以运输工具进行载运，可省去事 先安装测试后再拆解，然后再于客户端重新安装的步骤，且可 于多组真空装置安装时，方便调移真空装置的安装位置。另夕卜， 还可通过高度微调螺丝54的设置，方便依据真空装置设置地点 的水平准位，樣H周真空腔体4的水平，相当方便实用。
权利要求1. 一种模组式真空装置，包括一个真空腔体，其特征在于，该模组式真空装置还包括一个安装固定于该真空腔体的底面的机架及多个分别安装于该机架的底面的轮座单元，每一个轮座单元包括一个安装设置于该机架的底面的固定座，及一个可枢转滚动地枢设于该固定座中且往下突伸出该固定座外的滚轮。
2. 根据权利要求l所述的模组式真空装置，其特征在于， 该机架包括一个环状的底座、多个左右间隔对称地安装固定于 该底座的顶面的定4立块、二个左右间隔i也固定于该底座上且间 隔位于所述定位块后方的连结臂，及二个左右间隔且斜上往后 延伸地分别固接于所述连结臂与该底座间的顶撑臂，该真空腔 体以其底面往下5争4妾固定于所述定位块上，并以其后侧面往后 跨抵固定于所述连结臂。
3. 根据权利要求1或2所述的模组式真空装置，其特征在于， 所述定位块分别具有一个前高后低的倾斜状第一定位面，所述 连结臂分别具有一个自该底座斜上往前倾斜延伸的延伸段，及 一个自该延伸段顶端弯折往前延伸的连结段，且该连结段具有 一个斜上往后倾斜延伸的第二定位面，该真空腔体呈往后上方 倾斜延伸状，且以其底面倾斜靠抵固定于所述第一定位面，而 以其后侧面倾斜靠抵固定于所述第二定位面上。
4. 根据权利要求3所述的模组式真空装置，其特征在于， 所述顶撑臂固接于所述延伸段与该底座间。
5. 根据权利要求3所述的模组式真空装置，其特征在于， 该底座具有二个左右间隔且前后延伸的安装杆，所述轮座单元 分别设置于安装杆的前端部、后端部下方，且每一个轮座单元 还包括多个往下贯穿螺接于相对应的安装杆与固定座间的悬吊 固定螺丝，及多个螺接穿设于所述安装杆并往下顶抵于该固定的高度微调螺丝
专利摘要本实用新型提供一种模组式真空装置，包括一个机架、一个安装固定于机架上的真空腔体及多个固定于机架上的轮座单元。轮座单元分别包括一个安装固定于机架底面的固定座，及一个可枢转滚动地枢设于固定座中且往下突伸出固定座外的滚轮。通过将该真空腔体安装固定于机架上，且于该机架底部安装固定轮座单元的模组式结构设计，使得该真空装置安装后，可直接通过推动机架的方式，驱使靠抵于地面或预定滑轨的滚轮滚动，方便调移真空装置，且此模组化结构设计，可省去事先安装测试后再拆解，然后再于客户端重新安装的步骤，相当方便实用。
文档编号C23C14/34GK201209162SQ20082011766
公开日2009年3月18日 申请日期2008年6月12日 优先权日2008年6月12日
发明者郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司