一种用于光谱仪真空腔室盖板装置的制作方法

本发明属于机械领域，尤其涉及一种用于光谱仪真空腔室盖板装置。

背景技术：

光谱仪测量时需要将样品放入真空腔体中进行测量，具体操作过程为：腔室盖板打开，内外大气相通，放入样品，随后腔室盖板关闭，开始抽真空，要求真空密封性好，由于大气压强很大，机械机构承受很大的压力变化；同时为了保护样品，应尽可能避免冲击效应，因此迫切需要寻找一种能够解决此问题的机械机构。

技术实现要素：

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个，本发明提供了一种用于光谱仪真空腔室盖板装置。

所述一种用于光谱仪真空腔室盖板装置包括盖板，第一密封部件，第二密封部件；所述盖板下部具有凹下的盖板腔室，所述盖板腔室内有凸起支柱；所述第一密封部件安装在所述盖板腔室内部，且与所述凸起支柱对应位置具有配合通孔，所述第一密封部件下部具有第一密封腔室，所述第一密封部件与所述盖板通过第一联接件联接所述凸起支柱和所述配合通孔进行联接；所述第二密封部件安装在所述第一密封腔室内且位于所述配合通孔下部且通过与所述第一密封部件联接的第二联接件封闭所述配合通孔；所述第一联接件或所述凸起支柱部位外壁安装有弹性件，所述弹性件位于所述第一联接件或所述凸起支柱部位外壁和所述配合通孔内壁之间，所述盖板通过位于自身一端的轴进行转动开合。

根据本专利背景技术中对现有技术所述，现有技术盖板结构单一，当进行抽真空时，由于高密闭性的要求，机械盖板结构需要承受很大的作用力，刚性联接易形变受损，且压力反差变化大会对样品造成影响；而本发明公开的真空腔室盖板装置，通过采用盖板腔室、凸起支柱、弹性件、第一密封部件和第二密封部件的配合，使得在抽真空的过程中，盖板结构受力时会有一个缓冲作用并能够在一定范围内自动调整位置，增强了密闭性，同时样品腔室不会受到急剧变化的压力影响，保护了待检测样品，因此具有明显的优点。

另外，根据本发明公开的用于光谱仪真空腔室盖板装置还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述凸起支柱内有螺纹孔，所述第一联接件为具有外螺纹的联接件，所述弹性件通过所述第一联接件将所述第一密封部件与所述盖板进行联接。

进一步地，所述弹性件为圆筒形弹性体或弹片。

更进一步地，所述弹片为碟形弹片。

碟形弹片的使用可以让盖板和第一密封部件之间具有误差吸收功能，使得抽真空的时候，第一密封部件和盖板之间能够自动进行位置调整，使得真空密封性能更好。

进一步地，所述第一密封部件的第一密封腔室为具有向下开口且具有周壁的腔室，所述周壁顶面具有周壁密封槽。

更进一步地，所述周壁密封槽内装有密封部件。

进一步地，所述第一密封部件的第一密封腔室为具有向下开口且具有周壁的腔室，形成所述配合通孔位于所述第一密封腔室内的顶面具有通孔密封槽。

更进一步地，所述通孔密封槽内装有密封部件。

可选地，所述密封部件为密封圈。

优选地，所述密封圈为横截面为圆形或X型的密封圈。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是用于光谱仪真空腔室盖板装置的示意图；

图2是用于光谱仪真空腔室盖板装置的剖面示意图；

图3是图2中A部分的放大示意图；

图中，盖板100，盖板腔室101，凸起支柱102，轴103，第一密封部件200，第一密封腔室201，配合通孔202，周壁203，周壁密封槽204，密封部件205，通孔密封槽206，第一联接件300, 弹性件301，第二密封部件400，第二联接件401。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件；下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语 “上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“连通”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；“配合”可以是面与面的配合，也可以是点与面或线与面的配合，也包括孔轴的配合，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的发明构思如下，通过采用盖板腔室、凸起支柱、弹性件、第一密封部件和第二密封部件的配合，使得在抽真空的过程中，盖板结构受力时会有一个缓冲作用，且样品腔室不会受到急剧变化的压力影响，保护了待检测样品，因此具有明显的优点。

下面将参照附图来描述本发明，其中图1是用于光谱仪真空腔室盖板装置的示意图；图2是用于光谱仪真空腔室盖板装置的剖面示意图；图3是图2中A部分的放大示意图。

如图1-3所示，根据本发明的实施例，所述用于光谱仪真空腔室盖板装置包括：盖板100，第一密封部件200，第二密封部件400； 所述盖板100下部具有凹下的盖板腔室101，所述盖板腔室101内有凸起支柱102；所述第一密封部件200安装在所述盖板腔室101内部，且与所述凸起支柱102对应位置具有配合通孔202，所述第一密封部件200下部具有第一密封腔室201，所述第一密封部件200与所述盖板100通过第一联接件300联接所述凸起支柱102和所述配合通孔202进行联接；所述第二密封部件400安装在所述第一密封腔室201内且位于所述配合通孔202下部且通过与所述第一密封部件200联接的第二联接件401封闭所述配合通孔202；所述第一联接件300或所述凸起支柱102部位外壁安装有弹性件301，所述弹性件301位于所述第一联接件300或所述凸起支柱102部位外壁和所述配合通孔202内壁之间，所述盖板100通过位于自身一端的轴103进行转动开合。

根据本专利背景技术中对现有技术所述，现有技术盖板结构单一，当进行抽真空时，由于高密闭性的要求，机械盖板结构需要承受很大的作用力，且压力反差变化大会对样品造成影响；而本发明公开的真空腔室盖板装置，通过采用盖板腔室101、凸起支柱102、弹性件301、第一密封部件200和第二密封部件400的配合，使得在抽真空的过程中，盖板结构受力时会有一个缓冲作用，且样品腔室不会受到急剧变化的压力影响，保护了待检测样品，因此具有明显的优点。

另外，根据本发明公开的用于光谱仪真空腔室盖板装置还具有如下附加技术特征：

根据本发明的一些实施例，所述弹性件301为圆筒形弹性体或弹片。

根据本发明的一些实施例，弹片为碟形弹片。

根据本发明的一些实施例，所述第一密封部件200的第一密封腔室201为具有向下开口且具有周壁203的腔室，所述周壁203顶面具有周壁密封槽204。

根据本发明的一些实施例，所述周壁密封槽204内装有密封部件205。

根据本发明的一些实施例，所述第一密封部件200的第一密封腔室201为具有向下开口且具有周壁203的腔室，形成所述配合通孔202位于所述第一密封腔室201内的顶面具有通孔密封槽206。

根据本发明的一些实施例，其特征在于，所述通孔密封槽206内装有密封部件205。

根据本发明的一些实施例，所述密封部件205为密封圈。

根据本发明的一些实施例，所述密封圈为横截面为圆形密封圈或X型密封圈。

任何提及“一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中；在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例；而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。

尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内；具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神；除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。