1.一种用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,包括盖板,第一密封部件,第二密封部件;
所述盖板下部具有凹下的盖板腔室,所述盖板腔室内有凸起支柱;
所述第一密封部件安装在所述盖板腔室内部,且与所述凸起支柱对应位置具有配合通孔,所述第一密封部件下部具有第一密封腔室,所述第一密封部件与所述盖板通过第一联接件联接所述凸起支柱和所述配合通孔进行联接;
所述第二密封部件安装在所述第一密封腔室内且位于所述配合通孔下部且通过与所述第一密封部件联接的第二联接件封闭所述配合通孔;
所述第一联接件或所述凸起支柱部位外壁安装有弹性件,所述弹性件位于所述第一联接件或所述凸起支柱部位外壁和所述配合通孔内壁之间,所述盖板通过位于自身一端的轴进行转动开合。
2.根据权利要求1所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,
所述凸起支柱内有螺纹孔,所述第一联接件为具有外螺纹的联接件,所述弹性件通过所述第一联接件将所述第一密封部件与所述盖板进行联接。
3.根据权利要求1所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述弹性件为圆筒形弹性体或弹片。
4.根据权利要求3所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述弹片为碟形弹片。
5.根据权利要求1所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述第一密封部件的第一密封腔室为具有向下开口且具有周壁的腔室,所述周壁顶面具有周壁密封槽。
6.根据权利要求5所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述周壁密封槽内装有密封部件。
7.根据权利要求1所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述第一密封部件的第一密封腔室为具有向下开口且具有周壁的腔室,形成所述配合通孔位于所述第一密封腔室内的顶面具有通孔密封槽。
8.根据权利要求7所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述通孔密封槽内装有密封部件。
9.根据权利要求6、8任一项所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述密封部件为密封圈。
10.根据权利要求9所述的用于光谱仪真空腔室盖板装置,其特征在于,所述密封圈为横截面为圆形或X型的密封圈。