技术编号:3422570
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜的制备技术包括物理方法,如蒸发、溅设、液相外延等;化学方法,如化学气相沉积、金属有机盐沉积、溶胶凝胶法等,其中溶胶凝胶法是受欢迎的制备方法之一。众多技术的相互竟争,促进了各种制备技术的发展。喷雾热分解法是目前正在尝试的新的制备方法。同其它制备方法相比,它具有溶胶凝胶法的优点低的生长温度、大面积沉积和较快的生长速度、工艺易于控制化学计量比。此外,它还具有独到的优势良好的取向性和外延性、成本低、不需多次镀膜。本发明目的在于研制的,首先配制所需...
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