技术编号:3424130
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于电子東蒸发镀膜,特别是涉及一种用于电子枪的防污板。背景技术目前在普遍使用的电子東蒸发镀膜设备中,特别当蒸镀的材料是金属的时候,电子枪灯丝部分在工作中很容易受到电子東蒸发雾的污染,在灯丝和灯丝间的绝缘陶瓷上生长成一层金属薄膜,从而导致灯丝受到污染和绝缘陶瓷的绝缘度降低。这样,当再次使用设备给灯丝加高压的时候,不仅容易造成短路,而且也会对样品产生二次污染。发明内容为了克服现有设备中电子枪灯丝的污染问题,本实用新型提供了一种用于电子枪的防污板,通过...
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