专利名称：一种用于电子枪的防污板的制作方法
技术领域：
本实用新型属于电子東蒸发镀膜技术领域，特别是涉及一种用于电子枪的防污板。
背景技术：
目前在普遍使用的电子東蒸发镀膜设备中，特别当蒸镀的材料是金属的时候，电子枪灯丝部分在工作中很容易受到电子東蒸发雾的污染，在灯丝和灯丝间的绝缘陶瓷上生长成一层金属薄膜，从而导致灯丝受到污染和绝缘陶瓷的绝缘度降低。这样，当再次使用设备给灯丝加高压的时候，不仅容易造成短路，而且也会对样品产生二次污染。
发明内容
为了克服现有设备中电子枪灯丝的污染问题，本实用新型提供了一种用于电子枪的防污板，通过在电子枪端部安装有防污板，不仅很好的延长了电子枪灯丝的使用寿命，而且防止了对样品的二次污染问题，能够有效的防止电子東蒸发雾对电子枪灯丝和绝缘板的污染问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是
本实用新型包括两部分固定部分及防污部分，两部分之间的连接角度及形状均是根据电子枪端部安装部位的形状来确定，相对于电子枪的电极板部位，在防污部分开有相通的两长条形槽，对应电子枪灯丝发射出电子東的部位，在防污部分开有用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口。.
所述的防污部分开有的用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口的长度和宽度均为8 10麵x8 10隨。所述的连接部分及防污部分开有的两长条形槽的宽度(H)大于等于电极板宽度+ (4~6)隱。
本实用新型的有益效果是由于采用一种无磁、耐高温的金属薄板，安装在电子枪端部，使得电子枪灯丝的周围形成一个防护罩。同时，所述的防护罩有效地避让开电子枪Y方向磁力扫面的磁力线轨迹，并与电子枪的高压电极保持适当的距离。这样就可以有效的防止电子東蒸发雾中的各种元素对灯丝组件的污染问题，大大的延长了电子枪灯丝的使用寿命，从而提高了设备的生产率。
本实用新型可以在不更改设备现有结构的前提下，有效地解决电子枪灯丝的污染问题，结构简单。
图l是本实用新型的主视图。图2是图1的左视图。图3是图1的俯视图。
图4是本实用新型的安装示意图。图5是图4的右视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图详细说明本发明。
实施例1:适用于6KW的270。 E型电子枪，如图1-图3所示，本实用新型为无磁、耐高温的金属薄板，包括两部分固定部分8及防污部分9，两部分之间的连接角度及形状均是根据电子枪端部安装部位的形状来确定，相对于电子枪的电极板6部位，在防污部分9开有相通的两长条形槽10,对应电子枪灯丝5发射出电子束的部位，在防污部分10开有用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口 11。
本例所述的防污部分9开有的用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口 11的长度和宽度为8 ~ 10mm x 8 ~ IO隱，本例采用的是8mm x 8隱。此槽口的尺寸如果太大会降低防污板的防污效果，如果太小会影响磁力线的通过。所述的防污部分9开有的两长条形槽10的宽度11大于等于电极板宽度+ (4 6)mm。此两长条形槽11是用于电极板6通过时使用，根据不同电子枪的电极尺寸，要求电极板6两侧与电子枪防污板7之问有2 ~ 3mm间隙，如果太大同样会降低防污效果。本例两长条形槽IO尺寸均为6^45誦，即为电极板宽度+ 4歸。
在图4中，将灯丝5和防污板7安装到电子枪上，给灯丝5施加高压，灯丝5发射出的电子束打到电子枪的水冷坩埚2中，激发电子枪坩埚2中的金属材料产生蒸发雾，蒸发雾向整个空间扩散，当扩散到灯丝5附近的时候，被防污板7很好的阻拦，这样就避免了对灯丝5以及绝缘陶瓷的污染。
如图5所示为图4的右视图，可以看到防污板7很好的保护了灯丝5，避免了污染，而且不会影响高压电极的引入和电子束的运动轨迹。
实施例2:其结构与实施例1相同，不同的是其防污部分9开有的用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口 ll的长度和宽度为9mraxl0mm，防污部分9开有的两长条形槽10的宽度H为电极板宽度+ 6mm。
实施例3:其结构与实施例1相同，不同的是其防污部分9开有的用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口 11的长度和宽度为9mmx9mm，防污部分9开有的两长条形槽12的宽度H为电极板宽度+ 5ram。
权利要求1.一种用于电子枪的防污板，其特征在于包括两部分固定部分及防污部分，两部分之间的连接角度及形状均是根据电子枪端部安装部位的形状来确定，相对于电子枪的电极板部位，在防污部分开有相通的两长条形槽，对应电子枪灯丝发射出电子束的部位，在防污部分开有用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口。
2. 根据权利要求l所述的用于电子枪的防污板，其特征在于所述的 防污部分开有的用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口的长度和宽度均 为8 ~ 10mm x 8 ~ 10mm。
3. 根据权利要求l所述的用于电子枪的防污板，其特征在于所述的连接部分及防污部分开有的两长条形槽的宽度(H)大于等于电极板宽度 + 4 ~ 6 mm。
专利摘要一种用于电子枪的防污板，属于电子束蒸发镀膜技术领域。本实用新型包括两部分固定部分及防污部分，两部分之间的连接角度及形状均是根据电子枪端部安装部位的形状来确定，相对于电子枪的电极板部位，在防污部分开有相通的两长条形槽，对应电子枪灯丝发射出电子束的部位，在防污部分开有用于Y方向磁场扫描的磁力线通过的槽口。本实用新型由于采用一种无磁、耐高温的金属薄板，安装在电子枪端部，使得电子枪灯丝的周围形成一个防护罩，有效地避让开电子枪Y方向磁力扫面的磁力线轨迹，并与电子枪的高压电极保持适当的距离。这样就可以有效的防止电子束蒸发雾中的各种元素对灯丝组件的污染问题，延长了电子枪灯丝的使用寿命，提高了设备的生产率。
文档编号C23C14/26GK201292400SQ20082021964
公开日2009年8月19日 申请日期2008年11月21日 优先权日2008年11月21日
发明者敏 姜, 孟凡荣, 李重茂 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司