专利名称：用于溅射磁性材料的磁控靶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及镀膜设备领域，尤其是一种可以溅射磁性材料的永磁体的 圆形平面/F兹控賊射革巴。
背景技术：
目前，在国内制备镀膜领域中，通常把磁控溅射作为溅射技术的主流，其 主要原因就是磁控溅射的"高速"、"低温，，特点，它可以在任何基材上沉积任 何镀材的薄膜。能够溅射非磁性材料的普通圆形平面永磁靶技术已经相当成熟， 而对于能够溅射铁、镍、钴等磁性材料的磁控靶， 一般有两种， 一种是电磁靶， 另 一种是用普通圓形平面永磁靶改型的圆形平面强磁靶。
但电》兹靶存在一些弊端
1. 在通电过程中，通电线圈产生的^f兹场受电网电压、线圈匝数、线圈材质 及人为因素等影响不太稳定，即使在相同的条件下制备的膜质量也不一定相同；
2. 在耙工作过程中，由于受结构的限制，往往达不到预想的磁场要求，想 不断增大电流达到预想磁场强度却常常烧断电磁线圈；
3. 电磁靶的造价也比永磁靶高很多，除了需要一个直流电源还需要配一个 励石兹电源，成本大约是永/磁耙的1. 5倍。
用普通圓形平面永磁靶改型的强磁靶，磁钢直接泡在冷却水中，时间长了 磁钢很容易退磁。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种磁钢棵露在靶材下面，冷却 水不和磁钢直接接触的用于賊射磁性材料的磁控耙。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是
一种賊射磁性材料的永磁体的圓形平面磁控賊射耙，包括外屏蔽罩1、磁钢 座2、极孰3、绝缘座8、固定座6、耙材压盖13、内磁钢12、外磁钢11、进水 嘴7、出水嘴4、联接螺栓和密封橡胶圈10、 10' 、 10〃 、 10〃 '；靶材14直 接放在磁钢座2上，通过靶材压盖13固定；磁钢座2材料为无氧铜，中心放内 磁钢12，周边钻若干小孔放外磁钢11，内磁钢12和外磁钢11极性朝向相反； 极執3材料为导磁材料，磁控耙工作时直流或者射频电源加在极孰3上；极執3 下面焊接进水嘴7和出水嘴4，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈10、 10' 、 10 〃 、10〃 '实现密封以保i正内外》兹钢不和冷却水直4妻4妻触。
所述外屏蔽罩1和固定座6之间采用螺紋手动可调结构，可根据靶材的厚 度上下调节，把靶头带电部分整个罩起来，防止放电。
所述绝缘座8为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，起到固定座6和极靱 3之间的绝缘作用；螺钉15'穿过绝缘座8拧在磁钢座2上，把极靴3压紧在 绝缘座8和磁钢座2之间；极靴3和磁钢座2工作时都带电，螺钉15'也带电， 为了避免螺钉15'和固定座6之间放电，用绝缘帽5塞在两者之间起绝缘作用；固定座6和绝缘座8之间的密封胶圈10'是靠螺钉15拧在螺钉套9上压紧的。 本实用新型用于溅射磁性材料的磁控耙^兹钢几乎紧挨靶材下表面，在靶材
上表面形成的最高磁感应强度比较大，可以溅射比用普通圆形平面永磁耙改型
的强磁耙更厚的铁磁耙材。磁钢不和冷却水直接接触，延长了耙的实用寿命。
本实用新型结构简单，成本低。
图l为本实用新型结构示意图。
图中l.外屏蔽罩，2.石兹钢座，3.极孰，4.出水嘴，5.绝缘帽，6.固定座， 7.进水嘴，8.绝缘座，9.螺钉套，10(10' 、 10" 、 10"').密封橡胶圈，11. 外磁钢，12.内磁钢，13.靶材压盖,14.耙材,15和15'.螺钉。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的结构和原理作进一步详细说明。 如图1所示， 一种可以賊射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控賊射耙，包 括外屏蔽罩1、磁钢座2、极靴3、绝缘座8、固定座6、靶材压盖13、内磁钢 12、外磁钢ll、进水嘴7、出7jc嘴4、联接螺栓和密封橡胶圈10、 10' 、 10〃 、 10〃 '；靶材14直接放在磁钢座2上，通过耙材压盖13固定；磁钢座2材料 为无氧铜，中心放内》兹钢12，周边钻若干小孔;^文外;兹钢11，内f兹钢12和外;兹 钢ll极性朝向相反；极靴3材料为导石兹材料，；兹控耙工作时直流或者射频电源 加在极孰3上；极靴3下面焊接进水嘴7和出水嘴4，冷却水低进高出，靠密封 橡胶圈10、 10' 、 10〃 、 10〃 '实现密封以保证内外磁钢不和冷却水直接接触。 外屏蔽罩1和固定座6之间釆用螺紋手动可调结构，可根据靶材的厚度上下 调节，把靶头带电部分整个罩起来，防止放电。磁钢座2材料为无氧铜，中心放 内磁钢12,周边钻若干小孔放外磁钢ll，内磁钢和外磁钢极性朝向相反。耙材 14直接放在磁钢座2上，通过耙材压盖13固定。极鞭3安装在磁钢座2下面，为导 磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴3上。极靴3下面氩弧焊焊接 进水嘴7和出水嘴4，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈10〃和10〃 '实现密封。 绝缘座8为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，起到固定座6和极靴3之间的绝缘 作用。螺钉15'穿过绝缘座8拧在磁钢座2上，把极靴3压紧在绝缘座8和磁钢座2 之间。极靱3和磁钢座2工作时都带电，螺钉15'也带电，为了避免螺钉15'和 固定座6之间放电，用绝缘帽5塞在两者之间起绝缘作用。固定座6和绝缘座8之 间的密封胶圈10'是靠螺钉l5拧在螺钉套9上压紧的。
权利要求1. 一种溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，包括外屏蔽罩(1)、磁钢座(2)、极靴(3)、绝缘座(8)、固定座(6)、靶材压盖(13)、内磁钢(12)、外磁钢(11)、进水嘴(7)、出水嘴(4)、联接螺栓和密封橡胶圈(10、10′、10″、10″′)；其特征在于靶材(14)直接放在磁钢座(2)上，通过靶材压盖(13)固定；磁钢座(2)材料为无氧铜，中心放内磁钢(12)，周边钻若干小孔放外磁钢(11)，内磁钢(12)和外磁钢(11)极性朝向相反；极靴(3)材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴(3)上；极靴(3)下面焊接进水嘴(7)和出水嘴(4)，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈(10、10′、10″、10″′)实现密封以保证内外磁钢不和冷却水直接接触。
2. 按照权利要求1所述賊射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控賊射扭，其 特征在于外屏蔽罩(1)和固定座(6)之间采用螺紋手动可调结构，可根据 靶材的厚度上下调节，把靶头带电部分整个罩起来，防止放电。
3. 按照权利要求1所述'减射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控贼射耙，其 特征在于绝缘座(8)为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，起到固定座(6) 和极孰(3 )之间的绝缘作用；螺钉(15')穿过绝缘座(8 )柠在磁钢座(2 ) 上，把极孰(3 )压紧在绝缘座(8 )和磁钢座(2 )之间；极靱(3 )和磁钢座(2)工作时都带电，螺钉(1V )也带电，为了避免螺钉("')和固定座(6) 之间放电，用绝缘帽(5 )塞在两者之间起绝缘作用；固定座(6 )和绝缘座(8 ) 之间的密封胶圏(10')是靠螺钉(15)拧在螺钉套(9)上压紧的。
专利摘要本实用新型公开一种用于溅射磁性材料的磁控靶，由外屏蔽罩、磁钢座、极靴、绝缘座、固定座、靶材压盖、内外磁钢、进出水嘴、联接螺栓和密封橡胶圈等部分组成。外屏蔽罩和固定座之间采用螺纹手动可调结构。磁钢座材料为无氧铜，中心放内磁钢，周边钻若干小孔放外磁钢，靶材直接放在磁钢座上，通过靶材压盖固定。极靴材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴上。极靴下面氩弧焊焊接进出水嘴，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈实现密封。绝缘座材料为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，安装在固定座(阳极)和极靴(阴极)之间。绝缘帽起到带电螺钉(阴极)和固定座(阳极)之间的绝缘作用。本实用新型结构简单，成本低，磁控靶寿命长。
文档编号C23C14/35GK201296778SQ20082021958
公开日2009年8月26日 申请日期2008年11月19日 优先权日2008年11月19日
发明者辉 佟, 彬 冯, 刘丽华, 刘大为, 颖 周, 鲁向群 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司