技术编号:3424159
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体加工装置,具体地说是涉及一种作为 半导体瓷板精加工研磨载体的游行轮。 背景技术组成半导体的瓷板具有严格的要求,在半导体加工过程中,需要 对瓷板进行精磨,现有的精磨是用手拿住瓷板在砂片上打磨,这样的 打磨具有劳动强度大、打磨效果差、瓷板容易破碎的现象。 发明内容本实用新型的目的就是针对上述存在的问题,提供一种劳动强度 低、操作容易、瓷板不易破碎的游行轮。本实用新型的是这样实现的游行轮,包括游行轮本体,其特征 在于游行轮本体是中心具有安...
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