专利名称：游行轮的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体加工装置，具体地说是涉及一种作为 半导体瓷板精加工研磨载体的游行轮。
背景技术：
组成半导体的瓷板具有严格的要求，在半导体加工过程中，需要 对瓷板进行精磨，现有的精磨是用手拿住瓷板在砂片上打磨，这样的 打磨具有劳动强度大、打磨效果差、瓷板容易破碎的现象。 发明内容
本实用新型的目的就是针对上述存在的问题，提供一种劳动强度 低、操作容易、瓷板不易破碎的游行轮。
本实用新型的是这样实现的游行轮，包括游行轮本体，其特征 在于游行轮本体是中心具有安装孔的片状结构，本体上还具有可安 装瓷板的孔；游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿；所述的安装 瓷板的孔是1——10个。
本实用新型的有益效果是由于采取了以上结构，使得这样的游 行轮具有操作方便、劳动强度低、研磨效果好、不易使瓷板破碎的优 点。
图1是本实用新型游行轮的结构示意图其中；1、游行轮本体2、安装孔3、安装瓷板的孔 4
齿
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图l所示游行轮，包括游行轮本体l，其特征在于游行轮 本体1是中心具有安装孔2的片状结构，本体上还具有可安装瓷板的 孔3;游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿4;所述的安装瓷板 的孔是1—10个。
使用时，安装有瓷板的游行轮在砂面下接触砂面，旋转游行轮， 砂面研磨瓷板表面。
中心具有安装孔2可以将游行轮安装在可旋转的平台上，使游行
轮旋转。
可安装瓷板的孔3，可使瓷板辖在孔中，起固定作用。
游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿4;可以是多片游行轮
在一个研磨面上，形成联动，提高生产率。
所述的安装瓷板的孔是1——io个，可以根据需要在一个游行轮 上同时安装多片瓷板，提高生产率，图中给出了安装6块瓷板的孔的
示意图，其他省略。
权利要求1、游行轮，包括游行轮本体(1)，其特征在于游行轮本体(1)是中心具有安装孔(2)的片状结构，本体上还具有可安装瓷板的孔(3)。
2、 根据权利要求1所述的游行轮，其特征在于游行片的外形 结构是圆形的，外周具有齿(4)。
3、 根据权利要求1所述的游行轮，其特征在于所述的安装瓷 板的孔(3)是1一10个。
专利摘要本实用新型涉及一种半导体加工装置，具体地说是涉及一种作为半导体瓷板精加工研磨载体的游行轮。游行轮包括游行轮本体，其特征在于游行轮本体是中心具有安装孔的片状结构，本体上还具有可安装瓷板的孔；游行片的外形结构是圆形的，外周具有齿；由于采取了以上结构，使得这样的游行轮具有操作方便、劳动强度低、研磨效果好、不易使瓷板破碎的优点。
文档编号B24B7/20GK201300352SQ20082022110
公开日2009年9月2日 申请日期2008年11月19日 优先权日2008年11月19日
发明者暖 宋, 张根清, 欧阳进民 申请人:河南久大电子电器有限公司