技术编号:3424551
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。高密度难熔金属和合金溅射靶 背景技术已有若干加工方法可用于制备高密度难熔金属产品。这些方法包括轧制、HIP(热等静压制)和热压制。美国专利3,116,146、 4,612,162、 4,670,216、 4,731 ,116、 5,470,527、 5,594,186、 5,774,780、 6,165,413、 6,328,927和6,350,407中描述了典型的方法。轧制、热压制和HIP己经广泛用于制备物理气相沉积 ("PVD")所用的高密度板(例如,...
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