技术编号：3425408
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明致力于制造由多个真空处理工艺进行处理的工件，从而尤其涉及制造类似 于晶片的衬底、数据存储磁盘或用于与太阳能电池板制造相关的光电应用的衬底，例如被 涂覆的玻璃衬底。背景技术对于真空中的衬底的处理，例如涂覆多层、加热、冷却、清洁以及蚀刻，存在着许多 在不破坏真空的情况下输送衬底通过抽真空的加工工位的组件的原理。US 2006/0054495和US 5658114显示了真空加工工位的线性组件。在US 5655277 中，真空加工工位被组装成圆形配置。在这两...
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