技术编号：3427493
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于太阳电池。特别是适合薄膜太阳电池应用的透明导电薄膜的制备方法。背景技术近年来，由于Sn02薄膜具有很好的电学和光学特性，被广泛用作太阳电池 的透明导电膜。然而，这种材料在氢等离子体氛围环境下由于Sii被还原导致其光学特性 发生恶化，限制了其在薄膜太阳电池中作为透明导电薄膜的应用，特别是微晶硅薄膜太阳 电池，而ZnO薄膜不仅可以在氢等离子体环境中具有高的稳定性，并且能够实现优良光 电特性(低电阻率、绒面结构，高透过率)的薄膜生长，从而成为薄膜太阳电...
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