技术编号:3430263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及从安全来源和以安全形式对活性氟的运输,贮存和制备,特别是,但不限于,基于氯的活性氟。活性氟源在工业上有很多用途。由于其极强的反应活性,这些用途包括其作为特异的氟化剂和火箭燃料以及高性能清洁剂的用途。它们也可用于提高金属的防腐蚀性能。在半导体制造中,它们被用于蚀刻硅和用作清洁剂。半导体和液晶的制造中会产生硅和氧化硅,它们粘附在或沉淀在制造元件上。这些材料可有效地用活性氟除去。但是,常规使用的活性氟源在它们的可使用形式是是一种高度危险的物质,因而已制...
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