技术编号:3431850
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于去除惰性气体中的杂质气体的超高纯度惰性气体纯化装置,本发明也涉及一种用于去除惰性气体中的杂质气体的超高纯度惰性气体的纯化方法。本发明尤其涉及一种可以在常温(0-50℃)下使用的、可均衡、有效地去除惰性气体中的包括甲烷,轻质烃,一氧化碳和二氧化碳在内的杂质气体的超高纯度惰性气体纯化装置,及一种可以在常温(0-50℃)下使用的、可均衡、有效地去除惰性气体中的包括甲烷,轻质烃,一氧化碳和二氧化碳在内的杂质气体的超高纯度惰性气体的纯化方法。本发明...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。