技术编号:3432207
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于根据MOD(金属有机沉积)法来形成铁电薄膜的用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜、制造铁电薄膜的方法、及液体喷射头。背景技术 包含以锆钛酸铅(PZT)等为代表的晶体的铁电薄膜具有自发极化、较高介电常数、光电效应、压电效应、及热电效应等,并因此广泛应用于包含压电元件的器件开发。同时,作为形成这种铁电薄膜的方法,已知诸如MOD法、溶胶凝胶法、CVD(化学气相沉积)法、以及溅射法。具体而言,MOD法及溶胶凝胶法具有可容易地以较低成本形成铁电薄膜的优势...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。