专利名称：用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜及其制造方法、液体喷射头的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于根据MOD(金属有机沉积)法来形成铁电薄膜的用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜、制造铁电薄膜的方法、及液体喷射头。
背景技术：
包含以锆钛酸铅(PZT)等为代表的晶体的铁电薄膜具有自发极化、较高介电常数、光电效应、压电效应、及热电效应等，并因此广泛应用于包含压电元件的器件开发。同时，作为形成这种铁电薄膜的方法，已知诸如MOD法、溶胶凝胶法、CVD(化学气相沉积)法、以及溅射法。具体而言，MOD法及溶胶凝胶法具有可容易地以较低成本形成铁电薄膜的优势。
在根据MOD法形成铁电薄膜时，通常通过在乙醇中溶解诸如金属醇盐的有机金属化合物、在对象物上涂覆通过向其加入水解抑制剂而获得的胶体状溶液、并干燥并烧结对象物上的溶液来形成该膜。同时，在根据溶胶凝胶法形成铁电薄膜时，该方法与MOD法相类似地来形成膜，不同之处在于该方法应用通过将有机金属化合物溶解在醇中、并通过在向其加入所需的最小量的水的同时使该有机金属化合物溶液水解并发生缩聚反应所得到的胶体状溶液(例如参考专利文献1)。
以下将详述应用MOD法及溶胶凝胶法来制造铁电薄膜的方法。通过使用诸如干燥氮气的干燥惰性气体(输送气体)，储存在容器中用于形成铁电薄膜的组合物被传输至布置在对象物之上的喷嘴，且用于形成铁电薄膜的组合物从喷嘴落在旋转的对象物上。以此方式，前体膜(precursorfilm)形成在对象物上，然后通过干燥及脱脂被转化为凝胶体，且通过进一步烧结对象物上的膜来制造铁电薄膜。
但是，就用于根据MOD法或溶胶凝胶法来形成铁电薄膜的用于形成铁电薄膜的组合物而言，包含在用于形成铁电薄膜的组合物中的醇(溶剂)会在组合物接触干燥惰性气体的干燥惰性气体环境中蒸发。由此存在将导致溶胶凝聚并沉积的有机金属化合物的分散稳定性劣化的问题。此外，当用于形成铁电薄膜的组合物在容器中储存一定时间后，还存在由于溶胶沉积导致的用于铁电薄膜的组合物(有机金属化合物)的储存稳定性劣化的问题。
在这里，当溶胶沉积时，用于铁电薄膜的该组合物中的溶胶组成会改变且铁电薄膜中的膜成份会不均匀地分布，由此包含铁电薄膜的压电元件的压电特性可能会波动。此外，在包含作为压电致动器的压电元件的液体喷射头中，压电元件的压电特性的波动会导致不均匀的液体喷射特性。
专利文献1JP-A-6-5946发明内容本发明要解决的问题着眼于以上情况，本发明的目的是提供一种用于形成铁电薄膜的组合物，其是一种可应用于MOD法的、可长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性的胶体状溶液；以及提供一种铁电薄膜、一种制造铁电薄膜的方法和一种液体喷射头。
解决问题的方法为了解决上述问题，本发明的第一个方面提供了一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物至少包括非所述有机金属化合物中的结晶水的水。
根据第一个方面，包含了具有相对较高的沸点的水。由此，可以在干燥惰性气体环境中长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性。
本发明的第二个方面提供了一种根据第一个方面的用于形成铁电薄膜的组合物，其中所述非所述有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量是包括在所述胶体状溶液中的所述金属的总摩尔量的1至10倍。
根据第二个方面，所述用于形成铁电薄膜的组合物的粘度具有对形成铁电薄膜而言最佳的值。由此，可以相对容易地形成铁电薄膜。
本发明的第三个方面提供了一种根据第二个方面的用于形成铁电薄膜的组合物，其中所述非所述有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量是包括在所述胶体状溶液中的所述金属的总摩尔量的5至7倍。
根据第三个方面，所述用于形成铁电薄膜的组合物的粘度具有对形成铁电薄膜而言甚至更佳的值。由此，可以相对容易地形成铁电薄膜。
本发明的第四个方面提供了一种铁电薄膜，其由根据第一至第三个方面中的任何一个方面的用于形成铁电薄膜的组合物制成。
根据第四个方面，可以相对容易地实现具有几近均匀分布的膜成份及稳定的压电特性的铁电薄膜。
本发明的第五个方面提供了一种包括压电元件作为喷射液体的压电致动器的液体喷射头，所述压电元件包括根据第四个方面的铁电薄膜。
根据第五个方面，可以相对容易地实现具有稳定液体喷射特性及高可靠性的液体喷射头。
本发明的第六个方面提供了一种制造铁电薄膜的方法，包括将非有机金属化合物中的结晶水的水加入到可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液中，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物；将所获得的用于形成铁电薄膜的组合物涂覆在对象物上；并通过干燥并烧结所述对象物上的所述用于形成铁电薄膜的组合物来形成所述铁电薄膜。
根据第六个方面，用于形成铁电薄膜、包含具有相对较高沸点的水的组合物可在干燥惰性气体环境中长期维持优异的分散稳定性及储存稳定性。因此，可以相对容易地制造具有几近均匀分布的膜成份的铁电薄膜。
本发明的第七个方面提供了根据第六个方面的制造铁电薄膜的方法，其中，通过将干燥惰性气体引入储存所述用于形成铁电薄膜的组合物的容器，将所述用于形成铁电薄膜的组合物传送至连接至所述容器的喷嘴，且所述用于形成铁电薄膜的组合物从所述喷嘴滴在旋转的所述对象物上，同时将所述用于形成铁电薄膜的组合物涂覆在所述对象物上。
根据第七个方面，可以相对容易地制造具有几近均匀分散的膜成份的前体薄膜。
图1是分解立体图，示出了根据本发明的第二实施例的记录头的轮廓。
图2(a)及2(b)是根据本发明的第二实施例的记录头的俯视图及沿线A-A’所取的剖视图。
具体实施例方式
以下将基于实施例详细描述本发明。
(第一实施例)本发明的用于形成铁电薄膜的组合物是胶体状溶液(溶胶)，该胶体状溶液可应用在用于根据MOD法来形成铁电薄膜的MOD(金属有机沉积)法中。更准确的讲，该组合物至少含有包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物以及非该有机金属化合物中的结晶水的水。不同于产生凝胶反应的溶胶凝胶法，MOD法指简单地通过涂覆醇化物的或者使用醇化物作为原料的有机金属材料的溶液、干燥、并进行加热处理来获得膜等的方法。“有机金属化合物中的结晶水”是指例如包含在构成用于形成铁电薄膜的材料的有机金属化合物的晶体中的水(结晶水)。本发明所述的“非有机金属化合物中的结晶水的水”指不同于结晶水的水。
此外，在本发明中，考虑到改善有机金属化合物的分散稳定性及储存稳定性，非有机金属化合物中的结晶水的水的量(含量)没有具体上限。但是，针对诸如涂覆、干燥及烧结的多种膜形成工艺的条件，考虑用于形成铁电薄膜的组合物的粘度，上述(水的)量具有最佳范围。更准确的讲，非有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量被优选的设定为包含在有机金属化合物溶液中的金属的总的摩尔量的1至10倍，或更优选的被设定为包含在有机金属化合物溶液中的金属的总的摩尔量的5至7倍。
在这里，如果用于形成锆钛酸铅(PZT)薄膜的组合物被应用来形成PZT薄膜，则“包含在有机金属化合物溶液中的金属的总摩尔量”等于构成PZT的金属元素(即，铅(Pb)、钛(Ti)、及锆(Zr))的总的摩尔量。
除了诸如金属醇盐或醋酸盐化合物的有机金属化合物之外，用于根据MOD法来形成铁电薄膜的用于形成本发明的铁电薄膜的组合物还包含作为溶剂的醇以及用于防止有机金属化合物的水解的水解抑制剂。例如，用于有机金属化合物的溶剂可以是丁氧基乙醇、丙醇等。水解抑制剂例如可以是单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、及乙酰丙酮等。
在这里，适当时，可以将用于稳定有机金属化合物并由此防止在铁电薄膜上产生裂缝的稳定剂(诸如聚乙二醇)加入本发明的用于形成铁电薄膜的组合物。也可以加入增稠剂等其他添加剂。
此外，用于根据MOD法形成铁电薄膜的本发明的用于铁电薄膜的组合物包含具有相对较高沸点的水。由此，可以在干燥惰性气体环境中长期保持有机金属化合物的分散稳定性，并可靠地防止了溶胶凝聚和沉积。此外，即使当用于形成铁电薄膜的组合物在干燥惰性气体下在容器中储存一定时间后，也可以可靠地防止溶胶沉积。由此，可以长期维持有机金属化合物的储存稳定性。
在这里，本发明的用于铁电薄膜的组合物通过将非有机金属化合物中的结晶水的水加入可应用于MOD法的包含有机金属化合物的胶体状溶液来制备，该胶体状溶液诸如是通过将有机金属化合物及水解抑制剂加入醇(溶剂)中而形成的胶体状溶液。如上所述，因为有机金属化合物溶液包含水解抑制剂，故不会因随后加入水而导致有机金属化合物与水之间发生水解。特别在可应用于MOD法的胶体状溶液的情况下，本发明可产生更显著的效果。
接下来将基于示例1及对比示例1来进一步详细描述本发明的用于形成铁电薄膜的组合物。
(示例1)在将剂量为354g的2-正丁氧基乙醇(CH3(CH2)3OCH2CH2OH)加入烧瓶中后，将剂量为38.4g(0.135mol)的四异丙氧基钛(Ti((CH3)2CHO)4))加入该烧瓶。在室温下搅拌该混合物以制备溶液A。然后，将剂量为68.8g的二乙醇胺(HN(CH2CH2OH)2)与烧瓶中的溶液A混合。在室温下搅拌该混合物以制备溶液B。然后，将剂量为139.8g(0.368mol)的乙酸铅三水合物(Pb(CH3COO)2·3H2O)加入烧瓶中的溶液B。然后，将剂量为82.6g(0.169mol)的乙酰丙酮锆(Zr(CH3COCHCOCH3)4)加入其中。在加热至70℃的同时将该混合物搅拌45分钟，然后将其自然冷却至室温以制备溶液C。然后，将剂量为34.2g的聚乙二醇((-CH2CH2O-)n)(平均分子量为400)加入烧瓶中的溶液C，然后在室温下搅拌该混合物以制备溶液D。最后，将剂量为36.3g(2.02mol)的纯水加入烧瓶中的溶液D，然后在室温下搅拌该混合物以完成示例1的用于形成铁电薄膜的组合物(用于形成Pb1.21(Zr0.556Ti0.444)O3薄膜的组合物)。
(对比示例1)除了不加入纯水之外，以与示例1相类似的方式制备对比示例1的用于形成铁电薄膜的组合物。
(测试示例1)对于上述示例1及对比示例1的用于铁电薄膜的组合物，通过测量并对比在干燥氮气环境中溶胶沉积所需的时间来进行测试。结果，在对比示例1中，在经过72小时后溶胶沉积就已经开始。相反，在示例1中，在经过1000小时后没有发现溶胶沉积。通过该测试结果，很明显，相较于不包含非乙酸铅三水合物中的结晶水的纯水的对比示例1的用于形成铁电薄膜的组合物，包含非乙酸铅三水合物中的结晶水的纯水的示例1的用于形成铁电薄膜的组合物可长期维持优异的分散稳定性及储存稳定性。
这里，通过使用上述用于形成铁电薄膜的组合物而形成的铁电薄膜例如包含诸如锆钛酸铅(PZT)的铁电材料(压电材料)的晶体，或通过加入诸如铌、镍、镁、铋、钇、镱等金属而获得的弛豫铁电材料的晶体。例如，其组成可以是PbTiO3(PT)、PbZrO3(PZ)、Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMN-PT)、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PZN-PT)、Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PNN-PT)、Pb(In1/2Nb1/2)O3-PbTiO3(PIN-PT)、Pb(Sc1/2Ta1/2)O3-PbTiO3(PST-PT)、Pb(Sc1/2Nb1/2)O3-PbTiO3(PSN-PT)、BiScO3-PbTiO3(BS-PT)、BiYbO3-PbTiO3(BY-PT)等等。
本发明的铁电薄膜由用于形成铁电薄膜(就有机金属化合物而言其具有优异的分散稳定性及储存稳定性)的组合物制成。因此，膜成份几乎均匀地分布，或换言之，铁电薄膜的膜质量变得几近一致。由此，铁电薄膜可显示稳定的压电特性。
这里，本实施例的上述用于形成铁电薄膜的组合物以及通过使用该用于形成铁电薄膜的组合物而形成的铁电薄膜可应用于器件开发的广泛领域。尽管其应用等没有具体的限制，但可能的应用的示例包括微致动器、滤波器、延迟线路、舌片式选择器(reed selector)、音叉振荡器、音叉时钟、收发器、压电拾音器、压电耳机、压电扩音器、SAW滤波器、RF调制器、谐振器、延迟元件、多带耦合器、压电加速计、压电扬声器等等。
此外，本发明的制造铁电薄膜的方法包括制备用于形成铁电薄膜的组合物的工序，制备用于形成铁电薄膜的组合物的工序通过将水解抑制剂等加入通过将有机金属化合物溶解于诸如醇的溶剂而获得的溶液中、然后向其加入非有机金属化合物中的结晶水的水来完成。通过在对象物上涂覆所制备的用于形成铁电薄膜的组合物，然后干燥、脱脂、并烧结对象物上用于形成铁电薄膜的组合物来形成铁电薄膜。
以此方式，根据本发明的制造铁电薄膜的方法，用于形成铁电薄膜的包含具有较高沸点的水的组合物可在干燥惰性气体环境中长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性。由此，可以相对容易地形成具有几近均匀分布的膜成份(换言之，具有几近一致的膜质量)的铁电薄膜。
同时，在向对象物上涂覆用于形成铁电薄膜的组合物的步骤中，优选的是将干燥惰性气体以给定的流率引入储存该用于形成铁电薄膜的组合物的容器中，以将该用于形成铁电薄膜的组合物传送至连接到容器的喷嘴，并将该用于形成铁电薄膜的组合物从喷嘴滴至旋转的对象物上。以此方式，可以相对容易地制造用于具有几近均匀分布的膜成份的铁电薄膜的前体膜。
(第二实施例)接下来，将参考图1至图2(b)详细描述一种喷墨记录头，其代表将本发明应用至压电致动器的液体喷射头的示例。图1是分解立体图，示出了代表液体喷射头的示例的喷墨记录头的轮廓。图2(a)及2(b)是俯视图及沿图1中的线A-A’所取的剖视图。如图1至图2(b)所示，在本实施例中，通道形成衬底10由具有面取向(110)的单晶硅衬底制成，且具有0.5至2μm范围内厚度的弹性膜50形成在其一个表面上，其中该弹性膜50由通过热氧化预先形成的二氧化硅(SiO2)制成。
由多个分隔壁11分隔的多个压力产生腔12通过从其一个表面侧各向异性蚀刻该单晶硅衬底而布置在该通道形成衬底10上。同时，与稍后描述的保护板30的储存部32连通的连通部13形成于压力产生腔12的垂直于布置方向(宽度方向)的方向(纵长方向)上的端部的外侧。此外，该连通部13通过供墨通道14分别与各个压力产生腔12的纵长方向上的端部连通。
此外，用于形成压力产生腔12的掩膜51设置在通道形成衬底10的开口表面侧上。通过钻孔设置有喷嘴孔21的喷嘴板20通过粘合剂、热接合膜等被固定在该掩膜51上，其中该喷嘴孔21与各个压力产生腔12的供墨通道14的相反侧上的端部附近连通。
同时，具有例如约0.4μm厚度的绝缘膜55形成在弹性膜50的与上述通道形成衬底10的开口表面的相反一侧上。根据下述工艺，具有例如约0.2μm厚度的下电极膜60、具有例如约1μm厚度的铁电薄膜(压电层)70、以及具有例如约0.05μm厚度的上电极膜80通过层叠而形成在该绝缘膜55上并共同构成压电元件300。这里，本实施例的铁电薄膜70由用于形成铁电薄膜的组合物形成，所述组合物由可应用于MOD法的胶体状溶液制成，其中所述组合物通过向有机金属化合物的溶液中加入非有机金属化合物中的结晶水的水来获得。
这里，压电元件300指包括下电极膜60、铁电薄膜70、以及上电极膜80的部分。通常，压电元件300的电极中的一个用作共用电极，而另一电极及铁电薄膜70依照各个压力产生腔12被图案化。此外，如此图案化的包括电极中的一个及铁电薄膜70的部分(其基于向两个电极施加电压而产生压电应变)将在这里被称作压电活性部分。在本实施例中，下电极膜60被用作压电元件300的共用电极而上电极膜80被用作压电元件300的个体电极。但是，因为驱动电路或配线的方便而反转的配置也是可行的。在任何情况下，为每个压力产生腔12都形成有压电活性部分。此外，压电元件300以及通过压电元件300的驱动而发生位移的振动板在这里被总称为压电致动器。这里，弹性膜50、绝缘膜55、以及下电极膜60一起充当本实施例中的振动板。
此外，包括可确保不妨碍压电元件300操作的充分空间的压电元件保持部31的保护板30通过粘合剂被接合至通道形成衬底10的设置有压电元件300的一侧上。压电元件300形成在该压电元件保持部31的内部并由此以几乎不受外部环境影响的状态被保护。这里，压电元件保持部31的内部空间可以是密封的或是不密封的。
此外，保护板30设置有储存部32，其构成储液室100的至少一部分，该储液室100充当通往各个压力产生腔12的共用墨腔。如上所述，该储存部32与通道形成衬底10的连通部13相连通并由此构成起到通往各个压力产生腔12的共用墨腔的作用的储液室100。同时，通孔33形成在保护板30上位于压电元件保持部31与储存部32之间的区域中，由此以在厚度方向上穿透保护板30。此外，从各个压电元件300引出的各个引线电极90的端部的附近暴露在通孔33的内部。
此外，包括密封膜41及固定板42的柔性板40被接合在上述保护板30上。这里，固定板42由诸如金属的硬质材料制成。该固定板42相对于储液室100的区域在厚度方向上被完全除去并由此形成开口部43。由此，储液室100的一侧仅由具柔性的密封膜41密封。
在上述本实施例的喷墨记录头中，墨水从未示出的外部供墨装置被引入。在从储液室100至喷嘴孔21的范围中的内部充满墨水后，根据来自未示出的驱动IC的驱动信号，相应于各个压力产生腔12，在下电极膜60与上电极膜80之间施加驱动电压，而弹性膜50、绝缘膜55、下电极膜60、及铁电薄膜70弯曲变形。以此方式，增加了相应压力产生腔12中的压力并从喷嘴孔21喷射墨滴。
在上述本实施例的喷墨记录头中，铁电薄膜70由有机金属化合物以及用于形成铁电薄膜的组合物制成，该组合物包含非该有机金属化合物中的结晶水的水，或换言之，该用于形成铁电薄膜的组合物具有有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性。由此，铁电薄膜70的膜成份几近均匀地分布，且铁电薄膜70的膜质量变得几近一致。由此，可以稳定头的喷墨特性并改善头的可靠性。
尽管基于作为液体喷射头的示例的构造为喷墨的喷墨记录头描述了本实施例，但液体喷射头不应被仅限于此。例如，液体喷射头可以是用在诸如打印机的图像记录装置中的记录头、用于制造液晶显示器等的彩色滤光片的彩色材料喷射头、用于形成有机EL显示器、FED(场发射显示器)等中的电极的电极材料喷射头、以及用于制造生物芯片的活性有机材料喷射头等。
权利要求书(按照条约第19条的修改)1.一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物至少包括非所述有机金属化合物中的结晶水的水。
2.根据权利要求1所述的用于形成铁电薄膜的组合物，其中所述非所述有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量是包括在所述胶体状溶液中的所述金属的总摩尔量的1至10倍。
3.根据权利要求2所述的用于形成铁电薄膜的组合物，其中所述非所述有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量是包括在所述胶体状溶液中的所述金属的总摩尔量的5至7倍。
4.一种铁电薄膜，其由根据权利要求1-3中任一项所述的用于形成铁电薄膜的组合物制成。
5.一种液体喷射头，包括压电元件，其包括根据权利要求4所述的铁电薄膜，所述压电元件充当喷射液体的压电致动器。
6.一种制造铁电薄膜的方法，包括将非有机金属化合物中的结晶水的水加入到可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液中，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物；将所获得的用于形成铁电薄膜的组合物涂覆在对象物上；以及通过干燥并烧结所述对象物上的所述用于形成铁电薄膜的组合物来形成所述铁电薄膜。
7.根据权利要求6所述的制造铁电薄膜的方法，其中，通过将干燥惰性气体引入储存所述用于形成铁电薄膜的组合物的容器，将所述用于形成铁电薄膜的组合物传送至连接至所述容器的喷嘴，且所述用于形成铁电薄膜的组合物从所述喷嘴滴在旋转的所述对象物上，同时将所述用于形成铁电薄膜的组合物涂覆在所述对象物上。
8.根据权利要求6所述的制造铁电薄膜的方法，其中，所述非有机金属化合物中的结晶水的水在向所述胶体状溶液添加水解抑制剂之后加入。
权利要求
1.一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物至少包括非所述有机金属化合物中的结晶水的水。
2.根据权利要求1所述的用于形成铁电薄膜的组合物，其中所述非所述有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量是包括在所述胶体状溶液中的所述金属的总摩尔量的1至10倍。
3.根据权利要求2所述的用于形成铁电薄膜的组合物，其中所述非所述有机金属化合物中的结晶水的水的摩尔量是包括在所述胶体状溶液中的所述金属的总摩尔量的5至7倍。
4.一种铁电薄膜，其由根据权利要求1-3中任一项所述的用于形成铁电薄膜的组合物制成。
5.一种液体喷射头，包括压电元件，其包括根据权利要求4所述的铁电薄膜，所述压电元件充当喷射液体的压电致动器。
6.一种制造铁电薄膜的方法，包括将非有机金属化合物中的结晶水的水加入到可应用于金属有机沉积法的胶体状溶液中，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物；将所获得的用于形成铁电薄膜的组合物涂覆在对象物上；以及通过干燥并烧结所述对象物上的所述用于形成铁电薄膜的组合物来形成所述铁电薄膜。
7.根据权利要求6所述的制造铁电薄膜的方法，其中，通过将干燥惰性气体引入储存所述用于形成铁电薄膜的组合物的容器，将所述用于形成铁电薄膜的组合物传送至连接至所述容器的喷嘴，且所述用于形成铁电薄膜的组合物从所述喷嘴滴在旋转的所述对象物上，同时将所述用于形成铁电薄膜的组合物涂覆在所述对象物上。
全文摘要
提供了一种用于形成铁电薄膜的组合物，其是一种可应用于MOD法的、可长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性的胶体状溶液；一种铁电薄膜；一种制造铁电薄膜的方法；以及一种液体喷射头。在根据MOD法形成铁电薄膜时使用一种用于形成铁电薄膜的组合物，所述组合物由可应用于MOD法的胶体状溶液制成，所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物，所述组合物包含非所述有机金属化合物中的结晶水的水。
文档编号C01G25/00GK1922743SQ20058000610
公开日2007年2月28日 申请日期2005年6月29日 优先权日2004年7月13日
发明者角浩二 申请人:精工爱普生株式会社